| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外ZnO 薄膜的研究现状 | 第7-8页 |
| ·过渡层理论 | 第8-9页 |
| ·Al_20_3过渡层ZnO 薄膜理论模型 | 第9-10页 |
| ·选题依据及本文的研究内容 | 第10-11页 |
| 第2章 薄膜的制备方法及性能表征手段 | 第11-14页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第11页 |
| ·薄膜的性能表征手段 | 第11-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第3章 ZnO 薄膜及Al_20_3过渡层制备 | 第14-19页 |
| ·实验设备 | 第14-15页 |
| ·Al_20_3过渡层薄膜的制备 | 第15-16页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第16-17页 |
| ·Al_20_3过渡层ZnO 薄膜的制备 | 第17页 |
| ·结果与讨论 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第4章 Al_20_3过渡层对ZnO 薄膜性质的影响 | 第19-35页 |
| ·Al_20_3过渡层溅射时间对ZnO 薄膜性质的影响 | 第19-22页 |
| ·Al_20_3过渡层溅射气压对ZnO 薄膜性质的影响 | 第22-25页 |
| ·Al_20_3过渡层溅射功率对ZnO 薄膜性质的影响 | 第25-28页 |
| ·Al_20_3过渡层溅射温度对ZnO 薄膜性质的影响 | 第28-31页 |
| ·Al_20_3过渡层溅射气体流量对ZnO 薄膜性质的影响 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第5章 退火对Al_20_3过渡层ZnO 薄膜性质的影响 | 第35-41页 |
| ·Al_20_3过渡层退火对ZnO 薄膜的影响 | 第35-38页 |
| ·Al_20_3过渡层ZnO 薄膜的整体退火 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 结论 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
