长脉冲激光辐照单晶硅的损伤特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-12页 |
| ·研究背景和意义 | 第8-10页 |
| ·国内外研究进展 | 第10-11页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 2 激光与物质相互作用的基础理论 | 第12-25页 |
| ·材料对激光的反射和吸收 | 第12-17页 |
| ·激光的吸收 | 第12页 |
| ·折射率和吸收系数 | 第12-14页 |
| ·半导体对光的吸收 | 第14-17页 |
| ·激光对材料损伤的现象和机理 | 第17-22页 |
| ·激光损伤的定义及作用方式 | 第17-18页 |
| ·激光损伤阈值的探测方法 | 第18-19页 |
| ·激光损伤的机理 | 第19-22页 |
| ·影响材料激光损伤的一些因素 | 第22-24页 |
| ·材料本身的因素 | 第22页 |
| ·激光参数对材料损伤的影响 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 激光与材料相互作用的热效应 | 第25-33页 |
| ·材料的热物理性质 | 第25页 |
| ·激光加热物体的温度场 | 第25-30页 |
| ·热传导方程与定值条件 | 第25-27页 |
| ·半无限厚物体的温度场 | 第27-29页 |
| ·有限厚度广延板块的温度场 | 第29-30页 |
| ·激光辐照下的瞬态温度场和应力场 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 长脉冲激光辐照单晶硅热效应的数值模拟 | 第33-44页 |
| ·长脉冲激光辐照单晶硅温度场的数值模拟 | 第33-38页 |
| ·理论模型和激光材料参数 | 第33-34页 |
| ·单晶硅的瞬态温度场数值计算结果与分析 | 第34-38页 |
| ·长脉冲激光辐照单晶硅热应力场的数值模拟 | 第38-43页 |
| ·热应力产生的机理 | 第38-39页 |
| ·单晶硅的热应力数值计算结果与分析 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 长脉冲激光对单晶硅的损伤实验研究 | 第44-57页 |
| ·实验器材及其参数 | 第44-46页 |
| ·单脉冲激光对单晶硅的损伤实验与结果分析 | 第46-49页 |
| ·多脉冲激光对单晶硅的损伤实验与结果分析 | 第49-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及科研成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
