| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·VCSEL的发展历程 | 第6-7页 |
| ·VCSEL的应用 | 第7-9页 |
| ·单模VCSEL的研究进展 | 第9-11页 |
| ·单模表面浮雕结构VCSEL的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本论文的研究工作 | 第13-15页 |
| 第二章 VCSEL的基本理论 | 第15-22页 |
| ·VCSEL的结构特性分析 | 第15-16页 |
| ·VCSEL的性能参数 | 第16-18页 |
| ·VCSEL的模式特性 | 第18-22页 |
| 第三章 单模表面浮雕结构VCSEL的设计和模拟 | 第22-32页 |
| ·单模表面浮雕结构VCSEL的结构设计和优化 | 第22-28页 |
| ·单模表面浮雕结构VCSEL的模拟 | 第28-32页 |
| 第四章 单模表面浮雕结构VCSEL关键技术研究 | 第32-45页 |
| ·制备流程 | 第32-35页 |
| ·刻蚀技术研究 | 第35-37页 |
| ·湿法氧化技术研究 | 第37-40页 |
| ·金属剥离技术研究 | 第40-45页 |
| 第五章 单模表面浮雕结构VCSEL的性能测试及分析 | 第45-48页 |
| ·P-I特性 | 第45-46页 |
| ·光谱特性 | 第46-47页 |
| ·远场特性 | 第47-48页 |
| 总结 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |