| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·课题的研究背景 | 第11-13页 |
| ·课题的研究意义 | 第13-14页 |
| ·光刻机及光刻投影物镜的国内外发展现状 | 第14页 |
| ·光刻机在机械结构方面的主要技术问题 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 Small tools结构设计 | 第17-29页 |
| ·设计要求 | 第17-18页 |
| ·机械结构方案设计 | 第18-20页 |
| ·补偿方式选择 | 第18页 |
| ·镜片单元的安装形式 | 第18-19页 |
| ·镜筒方案设计 | 第19-20页 |
| ·具体结构设计 | 第20-28页 |
| ·材料选择 | 第20-21页 |
| ·驱动器选择 | 第21-23页 |
| ·镜片单元设计 | 第23页 |
| ·镜筒结构设计 | 第23-26页 |
| ·Z方向补偿机构设计 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 X、Y补偿机构柔性铰链设计与分析 | 第29-45页 |
| ·柔性铰链简介 | 第29-30页 |
| ·柔性铰链方案设计 | 第30-34页 |
| ·柔性铰链结构分析 | 第34-35页 |
| ·耦合分析 | 第35-42页 |
| ·结构运动分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 X、Y补偿机构柔性铰链刚度矩阵计算与优化 | 第45-57页 |
| ·柔性铰链的数学建模 | 第45-46页 |
| ·刚度、柔度矩阵介绍 | 第46-48页 |
| ·局部刚度(柔度)矩阵与整体刚度(柔度)矩阵 | 第48-50页 |
| ·整体刚度矩阵计算以及与有限元分析结果的比较验证 | 第50-51页 |
| ·柔性铰链结构的整体刚度矩阵优化 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 Small tools结构的模态分析及结构改进 | 第57-65页 |
| ·Small tools整机三维建模 | 第57-58页 |
| ·前处理 | 第58-60页 |
| ·Small tools装配体的材料属性定义 | 第58-59页 |
| ·定义装配体的接触 | 第59页 |
| ·定义约束和载荷 | 第59页 |
| ·网格划分 | 第59-60页 |
| ·后处理 | 第60-62页 |
| ·X、Y柔性铰链补偿机构分析结果 | 第60页 |
| ·Z方向补偿机构和镜筒的模态分析结果 | 第60-62页 |
| ·Z方向补偿机构的改进 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·本文总结 | 第65-66页 |
| ·展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录一 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |