| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·ZnO和Mg_xZn_(1-x)O的基本性能 | 第7-11页 |
| ·Mg_xZn_(1-x)O材料的研究现状 | 第11-12页 |
| ·本论文研究的内容 | 第12-13页 |
| 第二章 磁控溅射法制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜材料 | 第13-17页 |
| ·磁控溅射法及其原理 | 第13-15页 |
| ·磁控溅射法制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜 | 第15-17页 |
| 第三章 石英玻璃衬底上MgxZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第17-30页 |
| ·石英玻璃衬底上不同溅射时间条件下Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第17-20页 |
| ·石英玻璃衬底上不同溅射功率条件下Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第20-22页 |
| ·石英玻璃衬底上不同温度条件下Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第22-27页 |
| ·石英衬底上退火条件对Mg_xZn_(1-x)O薄膜性能的影响 | 第27-30页 |
| 第四章 蓝宝石衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第30-39页 |
| ·蓝宝石衬底上不同溅射功率的Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第30-33页 |
| ·蓝宝石衬底上不同衬底温度下Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第33-36页 |
| ·蓝宝石衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜退火前后的性能表征 | 第36-39页 |
| 第五章 Si衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第39-48页 |
| ·Si衬底上不同溅射时间的Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第39-41页 |
| ·Si衬底上不同溅射功率的Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第41-43页 |
| ·Si衬底上不同衬底温度对Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能表征 | 第43-46页 |
| ·退火对Si衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜的性能影响 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
