| 中文摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 符号说明 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| 第一节 研究背景与研究意义 | 第14-16页 |
| 第二节 研究现状 | 第16-24页 |
| 第三节 课题来源 | 第24页 |
| 第四节 本论文的目标 | 第24-25页 |
| 第五节 本论文的组织结构 | 第25-28页 |
| 第二章 ZnO薄膜制备及表征基础 | 第28-40页 |
| 第一节 引言 | 第28页 |
| 第二节 ZnO材料特性 | 第28-30页 |
| 第三节 磁控溅射技术简介 | 第30-31页 |
| 第四节 实验方法及ZnO薄膜制备 | 第31-33页 |
| ·实验设备 | 第31页 |
| ·衬底的特性和清洗 | 第31-33页 |
| ·ZnO薄膜制备及建模 | 第33页 |
| 第五节 本论文ZnO薄膜主要表征方法 | 第33-37页 |
| ·电学特性测试 | 第34-35页 |
| ·光学特性测试 | 第35-36页 |
| ·结构特性测试 | 第36-37页 |
| 第六节 ZnO薄膜的Castep理论模拟 | 第37-38页 |
| 第七节 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 宽光谱透过ZnO：W(WZO)薄膜的制备及应用 | 第40-66页 |
| 第一节 引言 | 第40页 |
| 第二节 WZO薄膜理论模拟研究 | 第40-46页 |
| ·WZO薄膜的结构特性研究 | 第41-43页 |
| ·WZO薄膜的电学特性研究 | 第43-45页 |
| ·WZO薄膜的光学特性研究 | 第45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第三节 宽光谱透过WZO薄膜制备 | 第46-59页 |
| ·衬底温度对WZO薄膜性能的影响 | 第46-49页 |
| ·H_2掺杂改善WZO薄膜性能的研究 | 第49-51页 |
| ·HWZO薄膜性能优化 | 第51-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 第四节 提高HWZO薄膜陷光特性的研究 | 第59-65页 |
| ·溅射功率对HWZO薄膜形貌的影响 | 第59-61页 |
| ·溅射气压对HWZO薄膜形貌的影响 | 第61-64页 |
| ·优化的HWZO薄膜在电池中的应用 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65页 |
| 第五节 本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 宽光谱透过ZnO：Mo(MZO)薄膜的制备及应用 | 第66-102页 |
| 第一节 引言 | 第66页 |
| 第二节 MZO薄膜理论模拟研究 | 第66-68页 |
| ·MZO的结构特性研究 | 第66-67页 |
| ·MZO的电学特性研究 | 第67-68页 |
| ·MZO的光学特性研究 | 第68页 |
| ·小结 | 第68页 |
| 第三节 宽光谱透过MZO薄膜制备 | 第68-84页 |
| ·衬底温度对MZO薄膜性能的影响 | 第69-74页 |
| ·溅射气压对MZO薄膜性能的影响 | 第74-77页 |
| ·O_2流量对MZO薄膜性能的影响 | 第77-80页 |
| ·MZO薄膜性能优化 | 第80-84页 |
| ·小结 | 第84页 |
| 第四节 提高MZO薄膜陷光特性的研究 | 第84-101页 |
| ·溅射气压对MZO薄膜形貌的影响 | 第85-87页 |
| ·衬底温度对MZO薄膜形貌的影响 | 第87-89页 |
| ·溅射功率对MZO薄膜形貌的影响 | 第89-92页 |
| ·MZO薄膜陷光特性优化及应用 | 第92-101页 |
| 第五节 本章小结 | 第101-102页 |
| 第五章 宽光谱陷光ZnO透明导电薄膜研究 | 第102-144页 |
| 第一节 引言 | 第102页 |
| 第二节 指导思想 | 第102-103页 |
| 第三节 绒面AZO薄膜制备 | 第103-109页 |
| ·沉积方式对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第103-107页 |
| ·溅射气压对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第107-109页 |
| 第四节 宽光谱陷光AZO薄膜制备及应用 | 第109-114页 |
| 第五节 宽光谱陷光AZO薄膜陷光性能优化 | 第114-119页 |
| 第六节 宽光谱陷光HAZO/AZO薄膜的研究 | 第119-136页 |
| ·腐蚀时间对AZO薄膜表面形貌的影响 | 第119-122页 |
| ·H_2流量对AZO薄膜陷光特性的影响 | 第122-126页 |
| ·溅射气压对HAZO薄膜陷光特性的影响 | 第126-129页 |
| ·宽光谱陷光AZO/HAZO薄膜的制备 | 第129-136页 |
| 第七节 宽光谱陷光AZO/ZnO薄膜的研究 | 第136-141页 |
| ·宽光谱陷光AZO/ZnO薄膜的制备 | 第136-139页 |
| ·宽光谱陷光AZO/ZnO薄膜的应用 | 第139-141页 |
| 第八节 本章小结 | 第141-144页 |
| 第六章 总结与展望 | 第144-148页 |
| 参考文献 | 第148-158页 |
| 致谢 | 第158-160页 |
| 个人简历 | 第160页 |
| 在学期间发表学术论文与研究成果 | 第160-162页 |