| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第14-15页 |
| ·微位移精密定位技术国内外研究概况 | 第15-21页 |
| ·柔性铰链研究概况 | 第15-16页 |
| ·微位移工作台发展概况 | 第16-21页 |
| ·本课题的主要研究内容及结构体系 | 第21-23页 |
| 第二章 有限单元法和正交试验法概述 | 第23-27页 |
| ·有限单元法 | 第23-24页 |
| ·有限单元法的基本思想 | 第23页 |
| ·有限单元法的分析步骤 | 第23-24页 |
| ·正交试验法 | 第24-26页 |
| ·正交试验方案的确定 | 第24页 |
| ·正交试验结果的分析 | 第24-26页 |
| 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 三维无耦合微位移工作台总体设计 | 第27-35页 |
| ·微位移机电系统简介 | 第27-30页 |
| ·微位移机电系统传动机构 | 第27页 |
| ·微位移驱动器 | 第27-29页 |
| ·柔性铰链 | 第29-30页 |
| ·三维无耦合微位移工作台总体设计方案 | 第30-34页 |
| 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 三维无耦合微位移工作台的设计与分析 | 第35-55页 |
| ·柔性铰链的设计计算 | 第35-44页 |
| ·平面柔性铰链转角刚度的理论计算 | 第35-37页 |
| ·平面柔性铰链转角刚度理论计算公式的有限元分析验证 | 第37-40页 |
| ·空间柔性铰链转角刚度的理论计算 | 第40-42页 |
| ·空间柔性铰链转角刚度理论计算公式的有限元分析验证 | 第42-44页 |
| ·三维无耦合微位移工作台的有限元分析计算 | 第44-54页 |
| ·微位移工作台有限元模型的建立 | 第44-46页 |
| ·三维无耦合微位移工作台的有限元分析计算 | 第46-48页 |
| ·微位移工作台数学模型的建立 | 第48-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 三维无耦合微位移工作台的加工与制造 | 第55-61页 |
| ·加工方法及其原理概述 | 第55-58页 |
| ·三维无耦合微位移工作台的制造结构设计 | 第58-60页 |
| 本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-64页 |
| ·课题总结 | 第61页 |
| ·课题展望 | 第61-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第67页 |