| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-41页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第14-30页 |
| ·VCSEL 的简介 | 第14-17页 |
| ·高功率 VCSELs 的发展历程 | 第17-23页 |
| ·垂直腔面发射激光器的应用 | 第23-30页 |
| ·垂直腔面发射激光器偏振特性 | 第30-40页 |
| ·小孔径 VCSEL 偏振控制方法 | 第30-38页 |
| ·高功率垂直腔面发射激光器的方法探讨 | 第38-40页 |
| ·本论文的研究方案 | 第40-41页 |
| 第二章 亚波长金属光栅型 VCSEL 的偏振理论分析 | 第41-77页 |
| ·VCSEL 偏振理论分析 | 第41-52页 |
| ·四能级偏振理论模型 | 第41-44页 |
| ·外光反馈结构偏振理论分析 | 第44-46页 |
| ·各向异性增益的导入理论分析 | 第46-52页 |
| ·亚波长金属光栅结构理论计算 | 第52-75页 |
| ·均匀介质理论 | 第52-56页 |
| ·有限元理论 | 第56-70页 |
| ·P-DBRs 反射率的计算 | 第70-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第三章 高功率亚波长金属光栅 VCSEL 制备工艺研究 | 第77-99页 |
| ·光栅制备工艺简介 | 第77-84页 |
| ·双光束干涉法制作光栅 | 第84-88页 |
| ·双光束干涉法 | 第85-86页 |
| ·光栅的制备 | 第86-88页 |
| ·VCSEL 制备工艺 | 第88-98页 |
| ·外延片生长技术外延片生长技术 | 第88-92页 |
| ·外延片清洗 | 第92页 |
| ·光刻技术 | 第92-93页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第93-95页 |
| ·湿法选择氧化技术 | 第95-96页 |
| ·金属光栅制备工艺流程 | 第96-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第四章 高功率亚波长金属光栅 VCSEL 输出特性分析 | 第99-119页 |
| ·无结构高功率 VCSEL 的性能测试 | 第100-105页 |
| ·无结构 VCSEL 输出特性分析 | 第100-102页 |
| ·无结构 VCSEL 的远场分布 | 第102-103页 |
| ·无机构 VCSEL 偏振输出特性分析 | 第103-105页 |
| ·亚波长金属光栅 VCSEL 性能测试 | 第105-110页 |
| ·亚波长金属光栅型 VCSEL 的输出特性分析 | 第105-107页 |
| ·亚波长金属光栅型 VCSEL 的偏振输出特性分析 | 第107-108页 |
| ·亚波长金属光栅型 VCSEL 的远场分布特性与光谱特性 | 第108-110页 |
| ·腐蚀掉盖层结构的亚波长金属光栅型 VCSEL 性能测试 | 第110-113页 |
| ·电流分布模拟分析 | 第110-111页 |
| ·输出特性分析 | 第111-113页 |
| ·氧化光栅型 VCSEL 结构模拟与分析 | 第113-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 第五章 总结与展望 | 第119-123页 |
| 参考文献 | 第123-131页 |
| 在学期间的学术成果情况 | 第131-133页 |
| 指导教师及作者简介 | 第133-135页 |
| 致谢 | 第135页 |
