硼掺杂纳米金刚石膜的制备及其性能研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-8页
第1章 绪论	第8-13页
·引言	第8-9页
·金刚石膜的性质	第8页
·纳米金刚石膜的制备	第8-9页
·硼掺杂纳米金刚石膜的制备及性能	第9-11页
·论文的选题意义及主要研究内容	第11-13页
第2章 金刚石膜的制备和表征	第13-17页
·金刚石膜的制备技术简介	第13-15页
·金刚石膜的表征方法	第15-17页
第3章 间歇式生长制备硼掺杂金刚石膜	第17-27页
·间歇模式制备掺硼金刚石膜的理论研究	第17页
·实验方法	第17-25页
·硼酸三甲酯流量对间歇模式制备掺硼金刚石膜的影响	第18-21页
·甲烷流量对间歇模式制备掺硼金刚石膜的影响	第21-22页
·沉积时间对间歇模式制备掺硼金刚石膜的影响	第22-25页
·本章小结	第25-27页
第4章 连续生长制备掺杂金刚石膜	第27-44页
·氩气氛下制备掺硼金刚石膜	第27-35页
·氩气与氢气流量比对掺硼金刚石膜的影响	第28-31页
·硼酸三甲酯流量对氩气氛下制备掺硼金刚石膜的影响	第31-33页
·压强对氩气氛下制备掺硼金刚石膜的影响	第33-35页
·硼和氮共掺杂制备金刚石膜	第35-42页
·氮气流量对掺硼金刚石膜的影响	第35-38页
·硼酸三甲酯流量对硼和氮共掺杂金刚石膜的影响	第38-40页
·甲烷流量对硼和氮共掺杂金刚石膜的影响	第40-42页
·本章小结	第42-44页
全文总结	第44-46页
参考文献	第46-50页
致谢	第50-51页
攻读硕士学位期间发表论文	第51页