双丙酮丙烯酰胺改性甲基丙烯酸酯类光刻胶的制备
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 插图索引 | 第11-12页 |
| 附表索引 | 第12-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-26页 |
| ·前言 | 第13页 |
| ·光刻胶的发展简介 | 第13-15页 |
| ·光致抗蚀剂的分类 | 第15-19页 |
| ·传统光刻胶 | 第15-17页 |
| ·化学放大光刻胶 | 第17-18页 |
| ·干膜光致抗烛剂 | 第18页 |
| ·液态光致抗蚀剂 | 第18-19页 |
| ·光刻工艺 | 第19-22页 |
| ·涂胶 | 第20页 |
| ·前烘 | 第20页 |
| ·曝光 | 第20-21页 |
| ·显影 | 第21页 |
| ·坚膜 | 第21-22页 |
| ·刻蚀 | 第22页 |
| ·去膜 | 第22页 |
| ·光刻胶的应用 | 第22-23页 |
| ·光刻胶的性能要求 | 第23-24页 |
| ·本课题研究的意义、目的及内容 | 第24-26页 |
| 第2章 成膜树脂的合成 | 第26-44页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·实验部分 | 第27-31页 |
| ·原料与设备 | 第27-28页 |
| ·成膜树脂的合成 | 第28-29页 |
| ·分析测试 | 第29-31页 |
| ·结果与讨论 | 第31-43页 |
| ·改性剂的选择 | 第31-32页 |
| ·成膜树脂的表征 | 第32-36页 |
| ·引发剂种类对聚合物分子量的影响 | 第36页 |
| ·引发剂用量对聚合物分子量的影响 | 第36-37页 |
| ·溶剂对聚合物分子量及粘度的影响 | 第37-38页 |
| ·反应温度对聚合物分子量的影响 | 第38页 |
| ·反应时间对聚合物分子量的影响 | 第38-39页 |
| ·加料方式对聚合物分子量的影响 | 第39-40页 |
| ·单体配比对聚合物及光刻胶性能的影响 | 第40-41页 |
| ·双丙酮丙烯酰胺用量对聚合物及光刻胶性能的影响 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第3章 光刻胶的配制 | 第44-51页 |
| ·引言 | 第44-46页 |
| ·实验部分 | 第46-47页 |
| ·原料与设备 | 第46页 |
| ·光刻胶的配制 | 第46页 |
| ·分析测试 | 第46-47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-50页 |
| ·成膜树脂种类对光刻胶感光性的影响 | 第47-48页 |
| ·光引发剂用量对光刻胶感光性的影响 | 第48-49页 |
| ·交联单体配比对光刻胶感光性的影响 | 第49页 |
| ·交联单体用量对光刻胶感光性的影响 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第4章 DAAM改性光刻胶的光刻工艺研究 | 第51-60页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·实验部分 | 第51-52页 |
| ·原料与设备 | 第51-52页 |
| ·实验内容 | 第52页 |
| ·分析测试 | 第52页 |
| ·结果与讨论 | 第52-59页 |
| ·涂胶条件的确定 | 第52页 |
| ·前烘条件对光刻图形的影响 | 第52-54页 |
| ·曝光时间对光刻图形的影响 | 第54-56页 |
| ·显影时间对光刻图形的影响 | 第56页 |
| ·坚膜条件对光刻图形的影响 | 第56-58页 |
| ·确定工艺后的图形效果 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文及专利 | 第67-68页 |
| 附录B 聚合物的GPC、DSC图 | 第68-76页 |
