氟化聚酰亚胺的合成、性能及其光波导制作工艺的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 前言 | 第10-28页 |
| ·光互连技术概述 | 第10-13页 |
| ·聚合物光波导材料 | 第13-18页 |
| ·聚合物光波导的加工 | 第18-26页 |
| ·课题的目的、来源 | 第26-27页 |
| ·论文的内容结构 | 第27-28页 |
| 2 聚酰亚胺的合成原理与性能 | 第28-37页 |
| ·聚酰亚胺的合成原理——两步法 | 第28-32页 |
| ·聚酰亚胺的结构-性能关系 | 第32-34页 |
| ·氟化聚酰亚胺 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 氟化聚酰亚胺的制备与测试 | 第37-70页 |
| ·氟化聚酰亚胺的制备 | 第37-40页 |
| ·测试 | 第40-42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 4 CO_2激光直写FPI光波导 | 第70-95页 |
| ·CO_2激光直写FPI光波导工艺流程 | 第70-71页 |
| ·CO_2激光直写机理 | 第71-77页 |
| ·CO_2激光直写FPI光波导的ANSYS模拟 | 第77-84页 |
| ·CO_2激光直写FPI光波导的形貌控制 | 第84-92页 |
| ·光波导的性能与表征 | 第92-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 5 微细笔直写FPI光波导 | 第95-109页 |
| ·微细笔直写FPI光波导工艺 | 第95-97页 |
| ·微细笔直写光波导的形貌控制 | 第97-102页 |
| ·波导传输损耗测试结果与分析 | 第102-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 6 总结与展望 | 第109-112页 |
| ·全文总结 | 第109-110页 |
| ·工作展望 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第123页 |
