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直流溅射法制备ZnO/Si异质结的光电转换特性研究

摘要第1-7页
Abstract第7-9页
目录第9-12页
第一章 绪论第12-34页
   ·ZnO的晶体结构第12-14页
   ·ZnO晶体的基本性质第14-15页
   ·ZnO的电学性质和掺杂第15-17页
   ·ZnO的光学性质第17-21页
     ·ZnO的透射光谱第17-18页
     ·ZnO的光致发光第18-21页
   ·ZnO薄膜的制备第21-26页
     ·ZnO薄膜的生长方法第22-26页
   ·太阳能电池的发展概况以及ZnO薄膜在太阳能电池中的应用第26-28页
     ·太阳能电池的分类及其发展第26-28页
     ·ZnO薄膜在太阳能电池中的应用第28页
   ·本论文的研究内容第28-30页
 参考文献第30-34页
第二章 ZnO薄膜的制备和表征第34-48页
   ·引言第34-35页
   ·ZnO薄膜的制备及其基本表征手段第35-38页
     ·薄膜的制备第35-37页
     ·样品测试分析第37-38页
   ·薄膜的表征和分析第38-46页
     ·ZnO薄膜的结构表征第38-40页
     ·ZnO薄膜表面形貌的表征第40-41页
     ·光致发光的研究第41-43页
     ·ZnO薄膜拉曼散射光谱第43-46页
 参考文献第46-48页
第三章 ZnO/Si异质结光电转换特性及生长条件的优化第48-78页
   ·引言第48-49页
   ·ZnO的光电转换特性第49-57页
     ·半导体的光电效应第49-55页
     ·ZnO/Si异质结的光电转换特性第55-57页
   ·生长温度对光电转换特性的影响第57-62页
   ·氧含量对光电转换特性的影响第62-66页
     ·氧含量对异质结光电转换特性的影响第62-65页
     ·氧含量对薄膜透过率的影响第65-66页
   ·生长时间对光电转换特性的影响第66-74页
     ·样品的制备第66-68页
     ·厚度对异质结I-V特性的影响第68-69页
     ·厚度对异质结C-V特性的影响第69-73页
     ·厚度对ZnO/Si异质结光电转换特性的影响第73-74页
   ·本章小结第74-76页
 参考文献第76-78页
第四章 ZnO/Si异质结的光电转换机理研究第78-96页
   ·光响应谱的测量及其作用第78-79页
   ·光谱响应的测量系统的建立和标定第79-89页
   ·ZnO/Si异质结的光谱响应第89-94页
     ·样品的制备和测量第89页
     ·ZnO薄膜的光电导谱第89-91页
     ·异质结的光电压响应谱第91-94页
   ·本章小结第94-95页
 参考文献第95-96页
第五章 退火处理对ZnO/Si异质结光电转换特性的影响第96-109页
   ·引言第96-97页
   ·退火与不退火样品的比较第97-99页
     ·样品的制备第97页
     ·退火对薄膜结构的影第97-98页
     ·退火对异质结I-V特性的影响第98-99页
   ·退火温度对ZnO/Si异质结性质的影响第99-104页
     ·样品的制备和测量第99页
     ·退火温度对ZnO/Si异质结光电转换的影响第99-100页
     ·退火温度对异质结I-V特性的影响第100-101页
     ·退火温度对ZnO薄膜晶体结构的影响第101-102页
     ·退火温度对薄膜表面形貌的影响第102-104页
   ·退火气氛对异质结光电转换特性的影响第104-105页
   ·退火时间对异质结光电转换特性的影响第105-106页
   ·本章小结第106-108页
 参考文献第108-109页
第六章 总结和展望第109-113页
致谢第113-114页
硕博连读期间所发表的论文第114页

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