| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| ·光纤MEMS压力传感器简述 | 第7-8页 |
| ·光纤MEMS压力传感器国内外现状 | 第8-9页 |
| ·本论文所进行的工作 | 第9-11页 |
| 第二章 法布里-珀罗光纤MEMS压力传感器原理与信号处理 | 第11-19页 |
| ·光纤MEMS压力传感器静力学原理 | 第11-14页 |
| ·法布里-珀罗型光纤MEMS压力传感器光学原理 | 第14-16页 |
| ·信号处理-傅立叶变换解调方法 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 低温度系数光纤MEMS压力传感器设计 | 第19-25页 |
| ·传感器温度效应原理 | 第19-20页 |
| ·光纤MEMS压力传感器温度系数分析 | 第20-21页 |
| ·零温度系数光纤MEMS压力传感器理论分析 | 第21-22页 |
| ·光纤MEMS压力传感器的设计 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第四章 法布里-珀罗型光纤MEMS压力传感器加工制作 | 第25-36页 |
| ·使用的材料特性 | 第25-27页 |
| ·微细加工技术 | 第27-33页 |
| ·压力传感器感压芯片加工步骤及传感器的装配 | 第33-35页 |
| ·传感器加工使用的主要设备 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第五章 传感器性能测试 | 第36-45页 |
| ·压力传感器静态特性 | 第36-38页 |
| ·压力传感器测试系统 | 第38页 |
| ·压力传感器主要性能参数计算 | 第38-42页 |
| ·压力传感器温度漂移实验 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 结束语 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-50页 |
| 附件 | 第50-52页 |
| 读研期间的科研成果 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |