ZnO薄膜的制备与发光性能的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·ZnO薄膜的结构和性质 | 第9-11页 |
| ·结构 | 第9页 |
| ·电学性质 | 第9-10页 |
| ·光学性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第11-12页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| ·ZnO薄膜的发光机制 | 第14-15页 |
| ·ZnO薄膜发光特性研究现状 | 第15-20页 |
| ·磁性离子掺杂ZnO薄膜的研究 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究内容及结构 | 第21-22页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备与性能表征 | 第22-28页 |
| ·实验设备及原理 | 第22-24页 |
| ·实验设备 | 第22-23页 |
| ·实验原理 | 第23-24页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第24-25页 |
| ·ZnO薄膜的表征 | 第25-27页 |
| ·表面形貌 | 第25页 |
| ·结构表征 | 第25-26页 |
| ·透射光谱 | 第26页 |
| ·光致发光谱 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 制备工艺对ZnO薄膜结构与光学性能的影响 | 第28-50页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·氧分压对ZnO薄膜的结构与光学特性的影响 | 第28-33页 |
| ·表面形貌 | 第28-29页 |
| ·XRD分析 | 第29-31页 |
| ·透射光谱 | 第31页 |
| ·光致发光谱 | 第31-33页 |
| ·溅射功率对ZnO薄膜的结构与光学特性的影响 | 第33-37页 |
| ·表面形貌 | 第34-35页 |
| ·XRD分析 | 第35-36页 |
| ·透射光谱 | 第36-37页 |
| ·光致发光谱 | 第37页 |
| ·工作气压对ZnO薄膜的结构与光学特性的影响 | 第37-41页 |
| ·表面形貌 | 第38-39页 |
| ·XRD分析 | 第39-40页 |
| ·透射光谱 | 第40页 |
| ·光致发光谱 | 第40-41页 |
| ·基片温度对ZnO薄膜的结构与光学特性的影响 | 第41-45页 |
| ·表面形貌 | 第41-42页 |
| ·XRD分析 | 第42-43页 |
| ·透射光谱 | 第43-44页 |
| ·光致发光谱 | 第44-45页 |
| ·氮气中退火对ZnO薄膜的结构与光学特性的影响 | 第45-48页 |
| ·表面形貌 | 第45-46页 |
| ·XRD分析 | 第46页 |
| ·透射光谱 | 第46-48页 |
| ·光致发光谱 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 掺杂对ZnO薄膜的结构与光学性能的影响 | 第50-59页 |
| ·Ni掺杂ZnO薄膜的结构与光学特性的研究 | 第50-53页 |
| ·表面形貌 | 第50-51页 |
| ·XRD分析 | 第51页 |
| ·透射光谱 | 第51-52页 |
| ·光致发光谱 | 第52-53页 |
| ·小结 | 第53页 |
| ·Fe掺杂ZnO薄膜的结构与光学特性的研究 | 第53-57页 |
| ·表面形貌 | 第54页 |
| ·XRD分析 | 第54-55页 |
| ·透射光谱 | 第55-56页 |
| ·光致发光谱 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·论文的主要工作 | 第59-60页 |
| ·下一步工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第69页 |
