固体电介质薄膜、薄片复介电常数的测量研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-13页
·电介质的复介电常数	第8-9页
·电介质复介电常数测量方法简介	第9页
·薄膜电介质复介电常数测量方法简介	第9-11页
·本文研究内容	第11页
·论文结构	第11-13页
第二章 圆柱谐振腔的基本理论	第13-18页
·圆柱谐振腔中的场分布	第13-15页
·圆柱谐振腔的基本参数	第15-16页
·圆柱谐振腔的模式	第16页
·本章小结	第16-18页
第三章 薄膜电介质复介电常数的测试原理	第18-26页
·相对介电常数ε'_r 的求解	第19-21页
·损耗角正切tan δ的求解	第21-24页
·品质因数的测量	第24-25页
·本章小结	第25-26页
第四章 自动化测试系统	第26-38页
·TE 型高Q 谐振腔的设计	第26-29页
·垫片的选择	第29-30页
·系统设计	第30-32页
·测量步骤与方法	第32-37页
·本章小结	第37-38页
第五章 测量结果及误差分析	第38-44页
·测量结果	第38-40页
·误差分析	第40-43页
·本章小结	第43-44页
第六章 结论	第44-45页
致谢	第45-46页
参考文献	第46-74页
在学期间的研究成果	第74-75页