| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| §1-1 研究背景 | 第8-9页 |
| §1-2 研究现状 | 第9-11页 |
| §1-3 研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 实验方法和测试技术 | 第12-16页 |
| §2-1 实验方法和薄膜生长 | 第12-15页 |
| 2-1-1 薄膜的形成 | 第12-13页 |
| 2-1-2 掺杂透明导电氧化物薄膜的特性分析 | 第13-14页 |
| 2-1-3 实验方法 | 第14-15页 |
| §2-2 薄膜表征 | 第15-16页 |
| 第三章 IWO（In_2O_3:WO_3）透明导电氧化物薄膜的生长和分析 | 第16-65页 |
| §3-1 工艺参数对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响分析 | 第16-37页 |
| 3-1-1 WO_3 掺杂浓度对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第16-21页 |
| 3-1-2 衬底温度对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第21-25页 |
| 3-1-3 氧流量对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第25-29页 |
| 3-1-4 薄膜厚度对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第29-32页 |
| 3-1-5 WO_3、MoO_3 共掺对IMWO（In_2O_3:WO_3/MoO_3）薄膜性能的影响 | 第32-37页 |
| §3-2 退火处理对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响分析 | 第37-49页 |
| 3-2-1 空气退火对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第37-41页 |
| 3-2-2 Ar 氛围退火对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第41-45页 |
| 3-2-3 N_2 氛围退火对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第45-49页 |
| §3-3 阻挡层对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响分析 | 第49-63页 |
| 3-3-1 SiO_2 阻挡层对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第49-55页 |
| 3-3-2 Al_2O_3 阻挡层对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第55-59页 |
| 3-3-3 梯度生长速率对IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜性能的影响 | 第59-63页 |
| §3-4 IWO（In_2O_3:WO_3）薄膜在有机太阳电池中的应用 | 第63-65页 |
| 第四章 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第70页 |
