| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| §1-1 概述 | 第8页 |
| §1-2 硅片传输机器人的发展及国内外研究现状 | 第8-10页 |
| §1-3 机器人轨迹规划 | 第10-14页 |
| 1-3-1 机器人轨迹规划概述 | 第10页 |
| 1-3-2 关节空间轨迹规划 | 第10-12页 |
| 1-3-3 操作空间轨迹规划 | 第12-13页 |
| 1-3-4 时间最优轨迹规划 | 第13-14页 |
| §1-4 机器人控制器 | 第14-17页 |
| 1-4-1 机器人控制器概述 | 第14页 |
| 1-4-2 机器人的变结构控制 | 第14-16页 |
| 1-4-3 机器人的自适应控制 | 第16页 |
| 1-4-4 机器人的智能控制 | 第16-17页 |
| §1-5 论文的主要研究内容及意义 | 第17-18页 |
| §1-6 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 类SCARA硅片传输机器人轨迹规划 | 第19-34页 |
| §2-1 概述 | 第19页 |
| §2-2 机器人规划 | 第19-20页 |
| 2-2-1 规划的概念及作用 | 第19-20页 |
| 2-2-2 规划问题解决方法 | 第20页 |
| 2-2-3 机器人规划的层次划分 | 第20页 |
| §2-3 机器人关节空间轨迹规划 | 第20-25页 |
| 2-3-1 三次多项式插值 | 第20-22页 |
| 2-3-2 五次多项式插值 | 第22-23页 |
| 2-3-3 带有抛物线过渡域的线性插值 | 第23-25页 |
| §2-4 类SCARA硅片传输机器人时间最优轨迹规划 | 第25-28页 |
| 2-4-1 类SCARA硅片传输机器人动作的实现 | 第25-26页 |
| 2-4-2 时间最优轨迹规划的实现 | 第26-27页 |
| 2-4-3 求关节空间路径点的位置速度加速度 | 第27页 |
| 2-4-4 运动学及动力学约束 | 第27-28页 |
| 2-4-5 时间最优轨迹规划算法 | 第28页 |
| §2-5 时间最优轨迹规划算法仿真 | 第28-33页 |
| 2-5-1 应用MATLAB进行算法仿真 | 第28-29页 |
| 2-5-2 仿真结果及分析 | 第29-33页 |
| §2-6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 类SCARA硅片传输机器人控制器设计 | 第34-50页 |
| §3-1 概述 | 第34页 |
| §3-2 机器人滑模变结构控制 | 第34-36页 |
| 3-2-1 滑模变结构控制理论 | 第34-35页 |
| 3-2-2 滑模变结构控制的基本原理 | 第35-36页 |
| §3-3 类SCARA硅片传输机器人滑模控制器设计 | 第36-40页 |
| 3-3-1 机器人动力学方程的建立 | 第36页 |
| 3-3-2 基于滤波器的滑模控制器设计 | 第36-40页 |
| §3-4 滑模控制器仿真及结果分析 | 第40-49页 |
| 3-4-1 建立仿真模型 | 第40-44页 |
| 3-4-2 基于到达律的控制器参数优化 | 第44-49页 |
| §3-5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 总结与展望 | 第50-51页 |
| §4-1 全文总结 | 第50页 |
| §4-2 研究的展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54页 |