一种新型微机械陀螺仪的结构与检测系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·陀螺仪的介绍及其应用 | 第9-10页 |
| ·陀螺仪的发展 | 第10页 |
| ·微机械陀螺仪 | 第10-16页 |
| ·微机械陀螺仪分类 | 第11页 |
| ·国外发展现状 | 第11-14页 |
| ·国内发展现状 | 第14-16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 振动式微机械陀螺仪理论基础 | 第18-30页 |
| ·微机械陀螺仪的工作原理 | 第18-23页 |
| ·Coriolis 效应 | 第18-20页 |
| ·微机械陀螺仪的动力学分析 | 第20-23页 |
| ·微机械陀螺仪的驱动原理 | 第23-28页 |
| ·静电驱动原理 | 第23-24页 |
| ·平行板驱动原理 | 第24-26页 |
| ·梳状结构的静电驱动原理 | 第26-28页 |
| ·微机械陀螺仪的微弱信号检测方法 | 第28-30页 |
| ·电容检测微弱信号的原理 | 第28-29页 |
| ·电容检测微弱信号的基本方法 | 第29-30页 |
| 第三章 梳状音叉微机械陀螺仪结构设计 | 第30-36页 |
| ·梳状音叉微机械陀螺仪的结构及工作原理 | 第30-32页 |
| ·检测结构部分设计 | 第32-35页 |
| ·驱动结构部分设计 | 第35-36页 |
| 第四章 梳状音叉微机械陀螺仪有限元仿真分析 | 第36-49页 |
| ·梳状音叉微机械陀螺仪模态分析 | 第36-40页 |
| ·模态分析介绍 | 第36页 |
| ·模态分析结果 | 第36-40页 |
| ·静电梳齿结构的有限元分析 | 第40-44页 |
| ·静电场分析的P-方法介绍 | 第40页 |
| ·一组梳齿的静电场分析 | 第40-42页 |
| ·双组梳齿的静电场分析 | 第42-44页 |
| ·梳状音叉微机械陀螺仪多物理场耦合分析 | 第44-49页 |
| ·多物理场耦合分析 | 第44-45页 |
| ·MEMS 多物理场耦合分析理论 | 第45-47页 |
| ·梳状音叉微机械陀螺仪顺序耦合分析 | 第47-49页 |
| 第五章 梳状音叉微机械陀螺仪的电路控制 | 第49-56页 |
| ·微机械陀螺仪驱动电路的设计 | 第49-50页 |
| ·开环驱动和闭环驱动 | 第49-50页 |
| ·驱动电路 | 第50页 |
| ·微机械陀螺仪检测电路的设计 | 第50-51页 |
| ·各主要控制电路 | 第51-54页 |
| ·频率控制电路 | 第51-52页 |
| ·振幅控制电路 | 第52-53页 |
| ·正交控制电路 | 第53页 |
| ·力平衡控制电路 | 第53-54页 |
| ·微机械陀螺仪总体电路设计 | 第54-56页 |
| 第六章 梳状音叉硅微机械陀螺仪MEMS 加工 | 第56-59页 |
| ·MEMS 制造技术 | 第56-57页 |
| ·MEMS 的特点 | 第56-57页 |
| ·几种MEMS 制造技术 | 第57页 |
| ·梳状音叉微机械陀螺仪加工过程 | 第57-59页 |
| 第七章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·论文的主要工作内容 | 第59页 |
| ·工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第64-65页 |
