基于MEMS的硅梁谐振式气体传感器研制
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-17页 |
| 第1章 绪论 | 第17-50页 |
| ·谐振式传感器 | 第17-19页 |
| ·谐振式传感器的概念与特点 | 第17页 |
| ·谐振式传感器的工作原理 | 第17-19页 |
| ·新一代谐振式传感器 | 第19-45页 |
| ·微电子机械系统MEMS | 第19-20页 |
| ·硅微结构谐振式传感器的国内外研究现状 | 第20-45页 |
| ·硅微梁结构谐振式传感器的发展趋势 | 第45-46页 |
| ·课题研究背景 | 第46-48页 |
| ·本课题主要的研究工作 | 第48-50页 |
| 第2章 硅梁谐振式气体传感器结构及工作原理 | 第50-64页 |
| ·硅梁谐振式气体传感器的基本结构 | 第50页 |
| ·硅梁谐振式气体传感器的基本工作原理 | 第50-56页 |
| ·谐振元件的激励及拾振原理 | 第56-63页 |
| ·电热激励原理 | 第59-61页 |
| ·热应力分析 | 第61-62页 |
| ·拾振原理 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第3章 硅梁谐振式气体传感器的结构设计 | 第64-79页 |
| ·Intellisuit模拟软件体系介绍 | 第64-65页 |
| ·硅梁谐振器力学特性分析 | 第65-67页 |
| ·硅微悬臂梁电热激励和压阻拾振电阻的设计原理 | 第67-77页 |
| ·电热激励电阻的设计 | 第67-68页 |
| ·拾振电阻的设计 | 第68-74页 |
| ·光刻版图的设计 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第4章 硅梁谐振式气体传感器的研制 | 第79-111页 |
| ·研制硅梁谐振器的关键工艺介绍 | 第79-85页 |
| ·光刻工艺 | 第79-80页 |
| ·氧化工艺 | 第80-81页 |
| ·扩散工艺 | 第81页 |
| ·腐蚀工艺 | 第81-83页 |
| ·化学气相淀积工艺 | 第83-85页 |
| ·腐蚀工艺的研究 | 第85-91页 |
| ·各向异性腐蚀工艺 | 第85-89页 |
| ·KOH腐蚀工艺 | 第89-91页 |
| ·硅梁谐振器的制作 | 第91-107页 |
| ·工艺方案的设计、仿真模拟与制作 | 第91-94页 |
| ·制备过程中存在的问题 | 第94-95页 |
| ·修正方案 | 第95-98页 |
| ·对于铝连线保护的研究 | 第98-99页 |
| ·针对铝连线保护问题改进方案的研究 | 第99-104页 |
| ·优化工艺设计方案的研究 | 第104-107页 |
| ·讨论 | 第107-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 第5章 硅梁谐振式气体传感器的电路设计 | 第111-121页 |
| ·自激闭环谐振电路原理 | 第111-112页 |
| ·计算机仿真与实际电路调试结果 | 第112-119页 |
| ·放大电路 | 第112-113页 |
| ·相移电路 | 第113-115页 |
| ·整形电路 | 第115-116页 |
| ·功放电路 | 第116-119页 |
| ·自激闭环谐振系统的电路设计 | 第119-120页 |
| ·本章小结 | 第120-121页 |
| 结论 | 第121-124页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 独创性声明 | 第136页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第136页 |
