反应溅射形成氮化钛复合渗镀层耐磨耐腐蚀性能的研究
| 第一章 文献综述 | 第1-39页 |
| ·TiN金属陶瓷的研究概况 | 第15-17页 |
| ·TiN的性质及其结构 | 第15-16页 |
| ·TiN涂层研究进展 | 第16-17页 |
| ·表面工程技术概述 | 第17-23页 |
| ·零件表面失效 | 第17-18页 |
| ·表面工程技术概括 | 第18-19页 |
| ·表面技术简介 | 第19-23页 |
| ·双层辉光离子渗金属技术简介 | 第23-27页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·双层辉光离子渗金属技术的原理和特点 | 第24-26页 |
| ·双层辉光离子渗金属技术的应用及进展 | 第26-27页 |
| ·反应渗镀技术 | 第27-28页 |
| ·等离子体概述 | 第28-35页 |
| ·等离子体特征及分类 | 第28-29页 |
| ·辉光等离子体放电理论 | 第29-35页 |
| 参考文献: | 第35-39页 |
| 第二章 课题的提出 | 第39-48页 |
| ·课题的研究背景 | 第39-40页 |
| ·国内目前PVD与CVD技术的研究与发展 | 第40-41页 |
| ·目前制备TiN涂层的方法及存在的问题 | 第41-43页 |
| ·制备方法 | 第41-42页 |
| ·存在的问题 | 第42-43页 |
| ·课题的提出及基本思路 | 第43-47页 |
| ·课题的提出 | 第43-44页 |
| ·课题的基本工艺方案 | 第44页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第44-45页 |
| ·本课题在研究领域所处的地位 | 第45-46页 |
| ·课题研究的市场前景 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-48页 |
| 第三章 TiN复合渗镀层工艺试验研究 | 第48-63页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·试验原理 | 第48-49页 |
| ·试验设备及结构布置 | 第49-51页 |
| ·试验设备 | 第49-50页 |
| ·结构布置 | 第50-51页 |
| ·试验材料 | 第51页 |
| ·试验步骤 | 第51-52页 |
| ·检测设备和分析方法 | 第52页 |
| ·工艺试验结果 | 第52-60页 |
| ·辉光等离子渗Ti工艺参数的确定 | 第53-54页 |
| ·TiN复合渗镀层制备工艺参数的确定 | 第54-58页 |
| ·PVD沉积TiN工艺参数的确定 | 第58-59页 |
| ·PVD沉积TiB_2工艺参数的确定 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献: | 第61-63页 |
| 第四章 TiN复合渗镀层的组织结构及摩擦磨损性能 | 第63-87页 |
| ·TiN复合渗镀层的成分及其组织特征 | 第63-75页 |
| ·TiN复合渗镀层的微观形貌 | 第63-67页 |
| ·TiN复合渗镀层截面金相组织 | 第67-69页 |
| ·TiN复合渗镀层原子力显微镜立体图 | 第69-71页 |
| ·TiN复合渗镀层成分分布 | 第71-72页 |
| ·TiN复合渗镀层的相结构 | 第72-75页 |
| ·TiN复合渗镀层的性能 | 第75-85页 |
| ·显微硬度的测定 | 第75-77页 |
| ·结合强度的测定 | 第77-78页 |
| ·摩擦磨损性能试验 | 第78-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献: | 第86-87页 |
| 第五章 TiN复合渗镀层耐腐蚀性能的研究 | 第87-119页 |
| ·引言 | 第87-88页 |
| ·电化学腐蚀试验 | 第88-110页 |
| ·电化学腐蚀基本概念 | 第88-90页 |
| ·电化学腐蚀速度的测定 | 第90-91页 |
| ·试验装置及条件 | 第91-93页 |
| ·试验结果与讨论 | 第93-110页 |
| ·静态浸泡腐蚀试验 | 第110-117页 |
| ·引言 | 第110页 |
| ·试样制备及方法 | 第110-111页 |
| ·试验结果 | 第111-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-119页 |
| 第六章 辉光放电等离子体试验研究 | 第119-144页 |
| ·辉光放电等离子体相关参数的测试 | 第119-122页 |
| ·引言 | 第119-120页 |
| ·辉光放电等离子体相关参数测试依据 | 第120-122页 |
| ·辉光放电等离子体测试装置 | 第122页 |
| ·等离子放电电子温度的研究 | 第122-132页 |
| ·试样布置 | 第122-123页 |
| ·试验过程 | 第123-124页 |
| ·理论分析 | 第124-126页 |
| ·电子温度的计算 | 第126-127页 |
| ·试验结果与讨论 | 第127-132页 |
| ·等离子放电电子密度的研究 | 第132-141页 |
| ·试样布置 | 第132-133页 |
| ·理论分析 | 第133-137页 |
| ·试验结果与讨论 | 第137-141页 |
| ·本章小结 | 第141-142页 |
| 参考文献 | 第142-144页 |
| 第七章: 结论 | 第144-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文 | 第147-149页 |
