X射线超反射镜的设计、制备与检测

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章 绪论	第7-12页
·引言	第7-9页
·X射线多层膜的发展	第9-11页
·课题研究背景	第11页
·课题研究内容	第11-12页
第二章 X射线超反射镜的设计	第12-47页
·引言	第12-13页
·膜对材料的选择	第13-14页
·多层膜膜对数的确定	第14-16页
·利用周期膜系来确定宽角度超反射镜的膜对数	第14-15页
·利用梯度膜系来决定宽带宽超反射镜的膜对数	第15-16页
·X射线超反射镜反射率的模拟计算	第16-25页
·X射线在理想多层膜系中的反射	第16-19页
·X射线在非理想表(界)面多层膜系中的反射	第19-25页
·X射线多层膜的优化设计	第25-46页
·引言	第25页
·评价函数的确定	第25-26页
·已有的X射线超反射镜的设计方法	第26-28页
·利用单纯型调优法设计X射线超反射镜	第28-42页
·全局优化算法应用于X射线超反射镜的探索	第42-46页
·本章小结	第46-47页
第三章 X射线超反射镜的制备与检测	第47-64页
·引言	第47页
·溅射原理	第47-49页
·溅射现象	第47-48页
·溅射镀膜中膜层的生长	第48页
·磁控溅射法	第48-49页
·磁控溅射设备与多层膜制备	第49-61页
·磁控与离子束溅射复合镀膜设备简介	第49-50页
·多层膜制备工艺	第50-52页
·镀膜沉积速率定标	第52-61页
·多层膜光学性能的检测	第61-63页
·本章小结	第63-64页
第四章 全文总结	第64-65页
参考文献	第65-70页
致谢	第70页
在攻读硕士学位期间发表的论文	第70页