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稀土元素介入化学沉积钴基软磁薄膜的研究

第一章 绪论第1-21页
 1.1 引言第11-13页
 1.2 化学沉积基础及其发展第13-16页
  1.2.1 化学沉积镀液的分类第14页
  1.2.2 化学镀液的组成第14-15页
  1.2.3 化学镀反应的机理第15页
  1.2.4 化学镀的发展第15-16页
 1.3 稀土元素及其应用第16-19页
  1.3.1 稀土元素简介第16页
  1.3.2 稀土元素的结构特点第16-17页
  1.3.3 稀土元素的化学性质第17-18页
  1.3.4 稀土元素的磁性第18-19页
 1.4 稀土应用的进展(磁性和表面沉积)第19-21页
第二章 实验材料和方法第21-24页
 2.1 实验方法第21-23页
  2.1.1 正交试验第21页
  2.1.2 镀液的配制第21-22页
  2.1.3 沉积工艺流程第22页
  2.1.4 沉积速率的测定第22页
  2.1.5 组织结构第22页
  2.1.6 显微硬度第22页
  2.1.7 磁学参数测定第22-23页
 2.2 实验用基体材料第23页
 2.3 仪器和设备第23-24页
第三章 稀土元素对化学沉积钴基薄膜合金的工艺的影响研究第24-51页
 3.1 化学沉积CoNiP薄膜工艺的研究第24-33页
  3.1.1 镀液配方正交试验第24-26页
  3.1.2 正交试验回归分析第26-33页
 3.2 稀土元素对化学沉积Co-Ni-P薄膜工艺的影响第33-39页
  3.2.1 RE化合物浓度对沉积速率的影响第33-34页
  3.2.2 各组元对沉积速率的影响第34-37页
  3.2.3 镀液稳定性、结合力和表面质量第37-39页
 3.3 化学沉积钴硼薄膜工艺研究第39-41页
  3.3.1 Co-B配方的优化选用第39页
  3.3.2 分析结果第39-41页
 3.4 稀土元素对Co-B化学沉积薄膜的工艺影响研究第41-50页
  3.4.1 稀土元素对沉积速度的影响第41-43页
  3.4.2 各组元的影响第43-48页
  3.4.3 负载因子的影响第48页
  3.4.4 镀膜与基体的结合力第48-49页
  3.4.5 分析结果第49-50页
 本章小结第50-51页
第四章 稀土元素介入化学沉积钴硼薄膜的电化学分析第51-56页
 4.1 电化学分析实验装置第51页
 4.2 实验曲线分析第51-55页
 本章小结第55-56页
第五章 化学沉积稀土元素钴基薄膜的组织结构第56-65页
 5.1 沉积膜成分分析第56-58页
 5.2 沉积膜结构第58-62页
  5.2.1 X-ray衍射结果第58-59页
  5.2.2 透射电镜分析第59-62页
 5.3 稀土元素对Co-B薄膜结构的影响第62-64页
 本章小结第64-65页
第六章 化学沉积稀土钴硼薄膜的性能第65-77页
 6.1 薄膜显微硬度第65-66页
 6.2 薄膜的磁性能第66-76页
 本章小结第76-77页
第七章 结论第77-79页
参考文献第79-82页

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