CXM100-2W移相式斐索干涉仪关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·波面相位检测技术 | 第7-9页 |
| ·光学元件和光学系统干涉计量测试 | 第9-10页 |
| ·本论文的研究背景 | 第10-11页 |
| ·所做的主要研究工作 | 第11-12页 |
| 2 光学材料折射率不均匀性的测量 | 第12-22页 |
| ·引起光学玻璃内部折射率不均匀原因 | 第12-13页 |
| ·测量方法 | 第13-19页 |
| ·鉴别率法 | 第13-14页 |
| ·刀口阴影法 | 第14-15页 |
| ·直接测量法 | 第15-16页 |
| ·样品翻转法 | 第16-18页 |
| ·绝对测量法 | 第18-19页 |
| ·实验及数据处理 | 第19-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 3 用干涉仪校正球径仪的测量误差 | 第22-40页 |
| ·球径仪的基本构造和测量原理 | 第22-25页 |
| ·球径仪的基本构造原理 | 第22-24页 |
| ·球径仪的基本测量原理 | 第24-25页 |
| ·ZYGO ZMI测长系统 | 第25-28页 |
| ·ZMI系统测量原理 | 第25-28页 |
| ·样板曲率半径的测量 | 第28-34页 |
| ·球径仪和标准样板 | 第28-29页 |
| ·用ZMI系统测量标准样板的曲率半径 | 第29-34页 |
| ·实验数据处理 | 第34-35页 |
| ·球径仪测量精度分析 | 第35-37页 |
| ·实验结果验证 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 CXM100-2W移相式斐索干涉仪研制 | 第40-51页 |
| ·系统简介 | 第40-42页 |
| ·移相干涉术算法原理 | 第42-43页 |
| ·CXM100干涉仪的硬件系统 | 第43-44页 |
| ·干涉仪控制器 | 第43页 |
| ·移相系统 | 第43页 |
| ·图像采集系统 | 第43-44页 |
| ·PSI移相干涉术处理软件 | 第44-50页 |
| ·锥体棱镜测试 | 第44-45页 |
| ·角度测试 | 第45-46页 |
| ·像质评价 | 第46-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·本文所完成的工作 | 第51页 |
| ·有待进一步解决的问题 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
