压电驱动微动定位平台系统设计与开发
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·微动定位技术研究的意义 | 第10-11页 |
| ·微动定位平台系统发展现状 | 第11-24页 |
| ·微动定位平台系统的组成 | 第11-12页 |
| ·微动定位机构研究现状 | 第12-20页 |
| ·压电驱动控制方法研究现状 | 第20-24页 |
| ·本文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 微动定位平台系统分析 | 第25-34页 |
| ·概述 | 第25页 |
| ·微动定位平台系统组成 | 第25页 |
| ·微动定位平台驱动方法分析 | 第25-28页 |
| ·电热式微驱动器 | 第26页 |
| ·电磁式微驱动器 | 第26页 |
| ·形状记忆合金驱动器 | 第26-27页 |
| ·超磁致伸缩微驱动器 | 第27页 |
| ·压电陶瓷微驱动器 | 第27-28页 |
| ·微动定位平台支撑导向机构分析 | 第28-30页 |
| ·滑动导轨支撑机构 | 第28页 |
| ·滚动导轨支撑机构 | 第28-29页 |
| ·气浮导轨支撑机构 | 第29页 |
| ·平行弹性导轨支撑机构 | 第29-30页 |
| ·柔性铰链支撑导向机构 | 第30页 |
| ·微动定位平台系统控制方法 | 第30-31页 |
| ·微动定位平台系统位移检测方法 | 第31-33页 |
| ·微定位的测量方法 | 第31页 |
| ·微位移传感器 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动器特性分析 | 第34-46页 |
| ·概述 | 第34页 |
| ·压电陶瓷驱动机理分析 | 第34-39页 |
| ·压电效应和电致伸缩效应 | 第34-35页 |
| ·压电效应和电致伸缩效应的微观机理 | 第35-38页 |
| ·压电陶瓷驱动器的结构分析 | 第38-39页 |
| ·压电陶瓷微驱动器特性分析及实验 | 第39-45页 |
| ·迟滞特性分析及实验测试 | 第40-42页 |
| ·蠕变特性分析及实验测试 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 微动定位平台机构设计 | 第46-61页 |
| ·概述 | 第46页 |
| ·柔性铰链、柔性移动副和柔性机构 | 第46-52页 |
| ·柔性铰链转动副的类型 | 第46-47页 |
| ·柔性铰链转动副的结构和转角刚度 | 第47页 |
| ·柔性移动副的概念与应用 | 第47-48页 |
| ·柔性铰链组成的柔性移动副机构的运动特性分析 | 第48-52页 |
| ·三种柔性移动副有限元分析比较 | 第52-54页 |
| ·建立机构分析有限元模型 | 第52页 |
| ·引入载荷和边界条件 | 第52-53页 |
| ·对机构进行静态分析比较 | 第53-54页 |
| ·微动定位平台机构设计与分析 | 第54-60页 |
| ·微动定位平台设计原则 | 第54-55页 |
| ·微动定位平台机构设计 | 第55-56页 |
| ·微动定位平台整体有限元建模 | 第56-58页 |
| ·微动定位平台机构位移分析 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 压电驱动的微动定位平台实验系统设计 | 第61-78页 |
| ·概述 | 第61页 |
| ·微动定位平台控制系统模型 | 第61-63页 |
| ·微动定位平台系统框架 | 第61页 |
| ·微动定位平台系统传递函数 | 第61-63页 |
| ·系统PID闭环控制参数整定 | 第63-68页 |
| ·PID控制方法基本原理 | 第63-64页 |
| ·平台系统PID闭环控制流程 | 第64-65页 |
| ·控制系统PID参数的整定 | 第65-68页 |
| ·微动定位平台实验系统构建 | 第68-71页 |
| ·压电陶瓷微驱动器及其驱动电源 | 第69页 |
| ·数据采集卡 | 第69-70页 |
| ·检测装置和传感器 | 第70-71页 |
| ·微动定位平台控制原型系统 | 第71-74页 |
| ·LabVIEW开发环境简介 | 第71-72页 |
| ·微动定位平台控制系统 | 第72-74页 |
| ·微动定位平台控制实验 | 第74-76页 |
| ·微动定位平台系统实验结果分析 | 第76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第6章 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·总结 | 第78页 |
| ·展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
