隧道式微加速度计信号处理电路的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·MEMS微弱信号检测概述 | 第9-10页 |
| ·隧道式硅微加速度计概述 | 第10-16页 |
| ·隧道加速度计的理论基础——电子隧道效应 | 第10-12页 |
| ·隧道式硅微加速度计的研究现状 | 第12-14页 |
| ·隧道加速度计信号处理电路的研究现状 | 第14-16页 |
| ·论文选题的意义 | 第16-17页 |
| ·论文的组织安排 | 第17-19页 |
| 2 隧道加速度计基本模型及信号处理相关工艺参数 | 第19-32页 |
| ·隧道加速度计基本结构 | 第19-20页 |
| ·隧道加速度计的数学模型 | 第20-23页 |
| ·开环状态 | 第20-21页 |
| ·闭环状态 | 第21-23页 |
| ·敏感头结构及工艺流程 | 第23-25页 |
| ·加工工艺中关键结构参数 | 第25-26页 |
| ·隧道初始间距 | 第25页 |
| ·隧尖高度 | 第25-26页 |
| ·静电驱动力 | 第26页 |
| ·开环测试 | 第26-29页 |
| ·隧道加速度计的封装 | 第29-31页 |
| ·大气封装 | 第29-30页 |
| ·真空封装 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 闭环信号处理电路设计 | 第32-54页 |
| ·电路总体结构及基本工作原理 | 第32-44页 |
| ·偏置电压&参考电压电路 | 第33-34页 |
| ·I—V转换电路 | 第34-41页 |
| ·跟随放大电路 | 第41-42页 |
| ·反馈驱动电路 | 第42-44页 |
| ·电路精度分析 | 第44-51页 |
| ·放大器的选择 | 第44-49页 |
| ·阻容器件的选择 | 第49页 |
| ·信号输入的驱动屏蔽 | 第49-50页 |
| ·工艺结构设计 | 第50-51页 |
| ·系统噪声分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 4 PID控制应用于信号处理电路的方案设计 | 第54-68页 |
| ·控制原理 | 第54-55页 |
| ·隧道加速度计静电力反馈分析 | 第55-56页 |
| ·带PID控制器的闭环系统模型 | 第56-59页 |
| ·带PD(比例-微分)控制器的闭环控制系统模型 | 第59-61页 |
| ·PD(比例-微分)阻尼调节控制模块设计 | 第61-64页 |
| ·PD(比例-微分)控制模块的电路实现 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 5 实验及结论 | 第68-76页 |
| ·表头与电路的联机调试 | 第68-70页 |
| ·常规环境下的静态标定与噪声测试 | 第70-72页 |
| ·静态标定 | 第70-71页 |
| ·噪声测试 | 第71-72页 |
| ·低噪声环境下的静态灵敏度与噪声测试 | 第72-75页 |
| ·结果比较 | 第75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 6 总结与展望 | 第76-77页 |
| 附录1 隧道加速度计信号处理电路原理图 | 第77-78页 |
| 附录2 Matlab程序 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 硕士期间参与的主要项目及发表论文 | 第85页 |
