介观压阻型加速度计的设计与性能测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-18页 |
| ·纳机电器件发展概况 | 第10-12页 |
| ·GAAS 纳机电器件现状 | 第12-13页 |
| ·微加速度传感器的概况 | 第13-18页 |
| ·本论文的研究工作 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 介观压阻效应与共振隧穿薄膜的设计 | 第20-30页 |
| ·介观压阻效应 | 第20-23页 |
| ·超晶格多量子阱中的应力分析 | 第20-21页 |
| ·超晶格多量子阱中的压电场 | 第21页 |
| ·内建电场引起的价带阶 | 第21页 |
| ·电子在超晶格多量子阱中的反射与投射 | 第21-23页 |
| ·共振隧穿机理 | 第23-25页 |
| ·RTH 薄膜的工作机理 | 第23-24页 |
| ·RTH 介观压阻效应的优点 | 第24-25页 |
| ·薄膜结构参数设计 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 介观压阻型加速度计的结构设计与分析 | 第30-50页 |
| ·加速度计的结构设计 | 第30-41页 |
| ·设计原则 | 第30-33页 |
| ·力学特性分析 | 第33-37页 |
| ·加速度计的参数设计 | 第37-41页 |
| ·加速度计的仿真分析 | 第41-49页 |
| ·ANSYS 软件 | 第41-43页 |
| ·静态分析 | 第43-46页 |
| ·模态分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 介观压阻型加速度计的工艺加工 | 第50-60页 |
| ·关键工艺的研究 | 第50-53页 |
| ·版图设计与加工 | 第53-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 介观压阻型加速度计的性能测试 | 第60-73页 |
| ·共振隧穿异质结静态性能研究 | 第60-67页 |
| ·共振隧穿异质结负阻特性实验 | 第60-61页 |
| ·共振隧穿异质结静态加压实验 | 第61-63页 |
| ·共振隧穿异质结频谱特性分析 | 第63-67页 |
| ·介观压阻型加速度计的动态性能研究 | 第67-72页 |
| ·电桥电路的设计与分析 | 第67-68页 |
| ·线性度特性实验 | 第68-70页 |
| ·灵敏度特性实验 | 第70-71页 |
| ·频响特性实验 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
