基于白光干涉的绝对距离测量方法的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·测量绝对距离技术概论 | 第13页 |
| ·绝对距离干涉测量(无导轨测量)方法 | 第13页 |
| ·绝对距离测量原理 | 第13-19页 |
| ·可调谐半导体激光器测距及定位 | 第15-17页 |
| ·光学倍程干涉法 | 第17页 |
| ·白光干涉法 | 第17-19页 |
| ·国内外研究现状 | 第19-20页 |
| ·论文的研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 白光干涉测量术 | 第22-33页 |
| ·引言 | 第22-23页 |
| ·光的干涉理论 | 第23-25页 |
| ·波的叠加原理 | 第23页 |
| ·两个频率相同振动方向相同的单色光波的叠加 | 第23-25页 |
| ·两个不同频率的单色光波的叠加 | 第25页 |
| ·光波的干涉条件 | 第25-26页 |
| ·干涉条纹的可见度 | 第26-27页 |
| ·光源非单色性的影响和时间相干性 | 第27-28页 |
| ·光源非单色性的影响 | 第27页 |
| ·时间相干性 | 第27-28页 |
| ·白光干涉分析方法 | 第28-31页 |
| ·白光迈克耳逊干涉仪 | 第28-29页 |
| ·白光光源的光学特性及干涉特性 | 第29页 |
| ·白光干涉的特征 | 第29页 |
| ·时域白光干涉分析 | 第29-30页 |
| ·频域白光干涉分析 | 第30-31页 |
| ·处理白光干涉谱数据的极值法 | 第31-33页 |
| 第三章 绝对距离的白光干涉测量系统 | 第33-41页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·系统方案 | 第33-34页 |
| ·绝对距离白光干涉测量系统的测量原理分析 | 第33页 |
| ·系统模块 | 第33-34页 |
| ·光程差和光强度分布 | 第34页 |
| ·绝对距离计算的极值法原理 | 第34-37页 |
| ·极值法原理 | 第34-36页 |
| ·极值点位置的获取 | 第36-37页 |
| ·绝对距离白光干涉测量测量实验系统 | 第37页 |
| ·绝对距离白光干涉谱数据处理分析 | 第37-41页 |
| 第四章 测量绝对距离的白光干涉测量系统的性能分析 | 第41-50页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·仪器性能参数 | 第41-44页 |
| ·分辨率 | 第41页 |
| ·动态范围 | 第41-43页 |
| ·稳定性 | 第43-44页 |
| ·性能影响因素分析 | 第44-47页 |
| ·白光光源对测试的影响 | 第44页 |
| ·平面镜的影响 | 第44-45页 |
| ·光谱仪谱宽对测量精度的影响 | 第45页 |
| ·影响因素总结 | 第45-47页 |
| ·有关精度标定 | 第47-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54-55页 |
