| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 序言 | 第12-29页 |
| ·低温等离子体的应用领域 | 第13-14页 |
| ·低温等离子体在半导体工业中的应用 | 第14-16页 |
| ·低温等离子体源的发展 | 第16-21页 |
| ·双频容性耦合等离子体的研究背景与现状 | 第21-26页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第二章 等离子体发射光谱的诊断和分析方法 | 第29-61页 |
| ·等离子体诊断方法的种类 | 第29页 |
| ·发射光谱 | 第29-37页 |
| ·发射光谱原理 | 第30-32页 |
| ·谱线的加宽 | 第32-33页 |
| ·发射光谱的应用 | 第33-35页 |
| ·发射光谱仪简介 | 第35-37页 |
| ·双原子分子光谱简介 | 第37-48页 |
| ·双原子分子的纯转动光谱 | 第39-40页 |
| ·双原子分子的纯振动光谱 | 第40-43页 |
| ·双原子分子的振动转动光谱 | 第43-46页 |
| ·双原子分子的电子光谱 | 第46-48页 |
| ·发射光谱法测量转动和振动温度 | 第48-55页 |
| ·发射光谱法测量转动和振动温度的原理 | 第48-50页 |
| ·氮分子和离子转动和振动温度的拟合方法 | 第50-55页 |
| ·逆阿贝尔变换 | 第55-58页 |
| ·逆阿贝尔变换的原理 | 第55-56页 |
| ·逆阿贝尔变换的方法 | 第56-58页 |
| ·光强标定方法 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
| 第三章 容性耦合等离子体中氮分子和离子的转动和振动温度 | 第61-84页 |
| ·激发频率对氮分子和离子转动温度的影响 | 第61-69页 |
| ·实验设置 | 第62-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-68页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·激发频率对氮分子和离子振动温度的影响 | 第69-73页 |
| ·实验设置 | 第69-70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-73页 |
| ·结论 | 第73页 |
| ·双频容性耦合等离子体中氮分子和离子的转动和振动温度 | 第73-80页 |
| ·实验设置 | 第74-75页 |
| ·结果与讨论 | 第75-79页 |
| ·结论 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 第四章 容性耦合等离子体的空间非均匀性 | 第84-106页 |
| ·单频容性耦合等离子体中的空间非均匀性 | 第85-95页 |
| ·实验设置 | 第85-86页 |
| ·结果与讨论 | 第86-94页 |
| ·结论 | 第94-95页 |
| ·双频容性耦合等离子体中的空间非均匀性 | 第95-103页 |
| ·实验设置 | 第95页 |
| ·结果与讨论 | 第95-103页 |
| ·结论 | 第103页 |
| ·本章小节 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-106页 |
| 第五章 双频容性耦合CHF3等离子体的放电特性 | 第106-118页 |
| ·实验设置 | 第107-108页 |
| ·低频和高频功率的影响 | 第108-111页 |
| ·放电气压的影响 | 第111-112页 |
| ·低频和高频功率及气压对电子温度的影响 | 第112-113页 |
| ·低频和高频功率及气压对气体温度的影响 | 第113-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-118页 |
| 第六章 总结与展望 | 第118-122页 |
| ·总结 | 第118-120页 |
| ·今后工作的展望 | 第120-122页 |
| 创新性说明 | 第122-123页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 详细摘要 | 第126-134页 |