择优取向PLZST薄膜的微观结构及电热效应研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·铁电材料电热效应的研究现状 | 第11-14页 |
| ·体相材料的电热效应研究进展 | 第11-13页 |
| ·薄膜材料的电热效应研究进展 | 第13-14页 |
| ·薄膜材料叠层化的电热效应研究进展 | 第14页 |
| ·PZT基铁电致冷用材料的概述 | 第14-17页 |
| ·PZT的晶体结构及特征 | 第14-16页 |
| ·PZT基反铁电材料的性能与应用 | 第16页 |
| ·电热材料的制冷原理 | 第16-17页 |
| ·PZT体系薄膜材料的制备技术 | 第17-19页 |
| ·脉冲激光法(PLD) | 第17-18页 |
| ·金属有机化合物气相沉积法 | 第18页 |
| ·溅射法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第21-24页 |
| ·材料制备 | 第21-22页 |
| ·制备溶胶的实验原料 | 第21页 |
| ·薄膜制备的仪器 | 第21-22页 |
| ·薄膜的物相、形貌分析 | 第22页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第22页 |
| ·薄膜的表面、断面形貌分析 | 第22页 |
| ·薄膜的铁电性能和介电性能测试 | 第22-24页 |
| ·顶电极的制备 | 第22-23页 |
| ·薄膜的铁电性能测试 | 第23页 |
| ·薄膜的介电性能测试 | 第23-24页 |
| 第3章 PLZST 择优取向薄膜的制备及微结构 | 第24-39页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·溶胶的制备 | 第24-26页 |
| ·PLZST溶胶的制备 | 第24-26页 |
| ·LNO溶胶的制备 | 第26页 |
| ·薄膜的制备 | 第26-27页 |
| ·PLZST薄膜的相组成及取向性 | 第27-30页 |
| ·Pt上PLZST薄膜的相组成及取向 | 第27-29页 |
| ·PbO上PLZST薄膜的相组成及取向 | 第29-30页 |
| ·PLZST薄膜的织构 | 第30-33页 |
| ·薄膜纤维织构的ω-扫描分析 | 第30-32页 |
| ·PLZST薄膜的织构分析 | 第32-33页 |
| ·PLZST薄膜的形貌分析 | 第33-34页 |
| ·叠层化薄膜的制备 | 第34-35页 |
| ·叠层PLZST薄膜相组成及取向 | 第35-37页 |
| ·PLZST薄膜叠层化的形貌分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 PLZST 薄膜的铁电及介电性能 | 第39-49页 |
| ·PLZST薄膜的电滞回线 | 第39-42页 |
| ·PLZST薄膜的疲劳特性 | 第42-43页 |
| ·PLZST薄膜的I-V特性 | 第43-45页 |
| ·PLZST薄膜的变频介电谱 | 第45-46页 |
| ·PLZST薄膜的变温介电谱 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 PLZST 薄膜的电热性能 | 第49-62页 |
| ·(111)-择优取向PLZST薄膜的电热效应 | 第49-54页 |
| ·(100)-择优取向PLZST薄膜的电热效应 | 第54-59页 |
| ·PbO+PLZST薄膜的电热效应 | 第54-57页 |
| ·LNO+PLZST薄膜的电热效应 | 第57-59页 |
| ·薄膜叠层化的电热效应 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
