大气等离子体抛光对超光滑表面的影响研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-17页
·课题来源	第9页
·本课题的研究目的和意义	第9-10页
·国内外研究现状综述	第10-15页
·现有超光滑表面加工方法概述及分析	第10-13页
·大气等离子体抛光的国内外研究现状	第13-15页
·本课题主要研究的内容	第15-17页
第2章 大气等离子体抛光系统及加工机理	第17-27页
·大气等离子体抛光系统组成	第17-20页
·射频电源	第18页
·气体供给系统	第18-19页
·等离子体炬	第19页
·密封工作舱及运动工作台	第19页
·尾气处理装置	第19-20页
·大气等离子体抛光机理	第20-22页
·等离子体的电离激发机制	第20-21页
·气—固界面复相反应过程	第21-22页
·大气等离子体抛光的反应过程	第22-26页
·电子能量激发活性氟原子	第23-25页
·反应刻蚀气体放电	第25-26页
·本章小结	第26-27页
第3章 等离子体射流区域化学特性研究	第27-36页
·等离子体诊断方法及光谱测量装置	第27-29页
·等离子体射流区活性粒子径向分布状态光谱测量	第29-33页
·等离子体射流区活性粒子轴向分布状态光谱测量	第33-35页
·本章小结	第35-36页
第4章 等离子体射流在工件表面的物理特性研究	第36-43页
·径向壁面射流	第36-38页
·等离子体冲击射流的二维数学模型	第38-39页
·等离子体冲击射流的数值模拟	第39-42页
·本章小结	第42-43页
第5章 加工表面质量评价分析及实验验证	第43-54页
·沉积物的成分分析	第43-45页
·沉积物的去除实验研究	第45-46页
·沉积物的抑制实验研究	第46-53页
·沉积物的成因分析	第46-47页
·温度对沉积的影响	第47-48页
·气流速度对沉积的影响	第48-49页
·射流速度对沉积影响的实验验证	第49-53页
·本章小结	第53-54页
结论	第54-55页
参考文献	第55-59页
致谢	第59页