| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·TCO薄膜的应用 | 第10-12页 |
| ·本文的研究内容及创新点 | 第12-14页 |
| 第二章 AZO薄膜的制各、生长机理和表征 | 第14-25页 |
| ·AZO薄膜的制备方法 | 第14-17页 |
| ·磁控溅射的基本原理 | 第14-16页 |
| ·AZO薄膜的成膜反应过程 | 第16-17页 |
| ·AZO薄膜的生长机理 | 第17-19页 |
| ·AZO薄膜的表征 | 第19-24页 |
| ·小节 | 第24-25页 |
| 第三章 DCP-sputtering制备的AZO薄膜的微结构、电学和光学性质的研究 | 第25-44页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第25页 |
| ·沉积参数对AZO薄膜微结构的影响 | 第25-31页 |
| ·AZO薄膜的晶体结构和晶体缺陷 | 第25-26页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜微结构的影响 | 第26-30页 |
| ·反应气压对AZO薄膜微结构的影响 | 第30-31页 |
| ·沉积参数对AZO薄膜电学特性的影响 | 第31-38页 |
| ·AZO薄膜的导电机制 | 第31-34页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜电阻率的影响 | 第34-37页 |
| ·反应气压对AZO薄膜电阻率的影响 | 第37-38页 |
| ·沉积参数对AZO薄膜光学特性的影响 | 第38-43页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜光学特性的影响 | 第38-40页 |
| ·包络法拟合AZO薄膜的光学常数 | 第40-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第四章 DC-sputtering制备的AZO薄膜的微结构、电学和光学性质的研究 | 第44-57页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第44页 |
| ·沉积参数对AZO薄膜微结构的影响 | 第44-47页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜微结构的影响 | 第44-46页 |
| ·反应气压对AZO薄膜微结构的影响 | 第46-47页 |
| ·沉积参数对AZO薄膜电学特性的影响 | 第47-49页 |
| ·衬底温度对AZO薄膜电阻率的影响 | 第47-48页 |
| ·反应气压对AZO薄膜电阻率的影响 | 第48-49页 |
| ·AZO薄膜的光学特性的椭偏研究 | 第49-55页 |
| ·AZO薄膜的基本光学理论 | 第49-50页 |
| ·椭偏法的原理 | 第50-51页 |
| ·椭偏法拟合AZO薄膜的光学特性 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第五章 弱酸性氯化铵溶液对AZO薄膜的表面织构研究 | 第57-66页 |
| ·引言 | 第57-59页 |
| ·制备过程 | 第59页 |
| ·AZO薄膜的表面织构 | 第59-65页 |
| ·AZO薄膜的表面织构 | 第59-64页 |
| ·织构后AZO薄膜的电学特性 | 第64页 |
| ·织构后AZO薄膜的光学特性 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 第六章 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 硕士期间发表论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
