基于现场总线的扩散/氧化工艺控制系统的研制
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-13页 |
| ·扩散/氧化工艺控制现状 | 第10-11页 |
| ·本课题的技术要求及主要研究内容 | 第11-13页 |
| ·技术要求 | 第11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第2章 扩散/氧化工艺控制系统总体设计 | 第13-21页 |
| ·扩散/氧化工艺控制对象的研究 | 第13-15页 |
| ·控制对象扩散/氧化系统 | 第13-14页 |
| ·扩散/氧化工艺介绍 | 第14-15页 |
| ·扩散/氧化工艺控制系统方案设计 | 第15-20页 |
| ·扩散/氧化工艺控制系统硬件方案设计 | 第17-19页 |
| ·扩散/氧化工艺控制系统软件方案设计 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 扩散/氧化系统炉温控制策略 | 第21-32页 |
| ·经典PID控制 | 第21-24页 |
| ·PID理论基础 | 第21-22页 |
| ·数字PID控制 | 第22-24页 |
| ·PID参数整定方法 | 第24-30页 |
| ·扩充响应曲线法 | 第25-26页 |
| ·扩充响应曲线法的改进与实现 | 第26-30页 |
| ·扩散/氧化系统的炉温控制 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 扩散/氧化工艺控制系统硬件设计 | 第32-38页 |
| ·JC-9温度检测模块的设计 | 第32-35页 |
| ·JC-9温度检测模块的电路设计 | 第32-34页 |
| ·温度补偿与数据处理 | 第34-35页 |
| ·开关量输入、输出模块 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第5章 扩散/氧化工艺控制系统软件设计 | 第38-52页 |
| ·JC-9温度检测模块与PLC的通信程序设计 | 第38-40页 |
| ·触摸屏操作界面的设计 | 第40-42页 |
| ·上位机管理软件的开发与设计 | 第42-51页 |
| ·管理软件平台的选择 | 第43页 |
| ·管理软件中数据库设计 | 第43-44页 |
| ·管理软件重要功能模块 | 第44-47页 |
| ·管理软件与各PLC通信程序设计 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第6章 安装调试及结果分析 | 第52-54页 |
| ·实验室调试阶段 | 第52-53页 |
| ·现场安装调试阶段 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及科研工作 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 附录 | 第62-74页 |
| 附图1 JC-9温度检测模块电路设计图 | 第62-66页 |
| 附图2 控制系统—总体结构图 | 第66-67页 |
| 附图3 控制系统—输入模块接线图 | 第67-68页 |
| 附图4 控制系统—输出模块接线图 | 第68-69页 |
| 附图5 控制系统—电源、SSR、电磁阀接线图1 | 第69-70页 |
| 附图6 控制系统—电源、SSR、电磁阀接线图2 | 第70-71页 |
| 附图7 控制系统—电源、SSR、电磁阀接线图3 | 第71-72页 |
| 附图8 控制系统—步进电机驱动器接线图 | 第72-73页 |
| 附图9 控制系统—外部接线端子图 | 第73-74页 |
| 附图10 控制系统—实物照片 | 第74页 |
