| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-35页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·PT 基薄膜的性能 | 第15-23页 |
| ·PT基薄膜的铁电性能 | 第15-18页 |
| ·PT基薄膜的热释电性能 | 第18-23页 |
| ·PT 基薄膜的微观组织结构 | 第23-27页 |
| ·PT基铁电薄膜的织构 | 第23-25页 |
| ·多孔及多层PT 基薄膜的结构设计 | 第25-26页 |
| ·PT基薄膜的残余应力 | 第26-27页 |
| ·PT 基薄膜材料的主要制备方法 | 第27-30页 |
| ·溅射法 | 第27-28页 |
| ·金属有机化学气相沉积法 | 第28-29页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第29-30页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第30页 |
| ·PT 基薄膜的应用 | 第30-34页 |
| ·铁电存储器上的应用 | 第31-32页 |
| ·热释电红外探测器上的应用 | 第32-33页 |
| ·微机电系统中的应用 | 第33-34页 |
| ·本文主要研究内容 | 第34-35页 |
| 第2章 试验材料及研究方法 | 第35-39页 |
| ·试验材料及薄膜制备 | 第35-37页 |
| ·试验材料 | 第35-36页 |
| ·PT基薄膜材料的制备 | 第36-37页 |
| ·薄膜制备工艺参数 | 第37页 |
| ·薄膜结构和微观组织分析 | 第37-38页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第37页 |
| ·小角X 射线散射分析 | 第37-38页 |
| ·表面粗糙度及显微组织观察 | 第38页 |
| ·薄膜电学性能测量 | 第38-39页 |
| ·电极的制备 | 第38页 |
| ·薄膜的电学性能测量 | 第38-39页 |
| 第3章 不同织构P ZT 薄膜的物相组成与铁电性能 | 第39-55页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·P ZT 薄膜的织构表征方法 | 第39-43页 |
| ·薄膜纤维型织构的描述 | 第39-41页 |
| ·薄膜纤维织构的ω扫描分析方法 | 第41-43页 |
| ·P ZT 薄膜的物相组成及织构控制 | 第43-48页 |
| ·热分解温度对P ZT 薄膜织构的影响 | 第43-45页 |
| ·热分解温度对P ZT 薄膜织构影响机制研究 | 第45-46页 |
| ·热分解温度对PZ T 薄膜物相组成的影响 | 第46-48页 |
| ·P ZT 薄膜的组织形貌 | 第48-50页 |
| ·P ZT 薄膜的表面和断面形貌观察 | 第48-49页 |
| ·P ZT 薄膜表面粗糙度的A FM 观察 | 第49-50页 |
| ·P ZT 薄膜的极化性能研究 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 PL CT 薄膜的晶化行为与热释电性能 | 第55-72页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·PL CT 薄膜的低温晶化行为及表面形貌 | 第55-58页 |
| ·( 10 0 )取向PLCT 薄膜的残余应力 | 第58-68页 |
| ·热分解温度对PLCT 薄膜的残余应力及织构弥散度的影响 | 第58-62页 |
| ·织构度和残余应力对PLCT 薄膜相变温度的影响 | 第62-68页 |
| ·PLCT 薄膜的铁电及热释电性能 | 第68-70页 |
| ·晶化温度对PLCT 薄膜铁电及热释电性能的影响 | 第68-69页 |
| ·热分解温度对PLCT 薄膜铁电及热释电性能的影响 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第5章 PNZT 薄膜的界面优化与电学性能 | 第72-98页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·PNZT 薄膜的低温晶化行为及织构控制 | 第72-77页 |
| ·PLCT 种子层厚度及物相表征 | 第73-74页 |
| ·PLCT 种子层对PNZT 薄膜织构类型的影响 | 第74-77页 |
| ·低工作电压下不同厚度PNZT 薄膜的电学性能 | 第77-80页 |
| ·不同厚度PNZT 薄膜微观组织结构 | 第77-79页 |
| ·不同厚度PNZT 薄膜的电学性能 | 第79-80页 |
| ·PNZT 薄膜的界面优化与电学性能 | 第80-92页 |
| ·PLCT 种子层表面形貌 | 第81页 |
| ·PNZT 薄膜的微观组织结构 | 第81-84页 |
| ·PNZT 薄膜的铁电性能 | 第84-91页 |
| ·PNZT 薄膜的热释电性能 | 第91-92页 |
| ·PNZT 薄膜的漏电及疲劳特性研究 | 第92-96页 |
| ·本章小结 | 第96-98页 |
| 第6章 “三明治”结构PLCT 薄膜及PLCT | 第98-111页 |
| ·引言 | 第98-99页 |
| ·“三明治”结构多孔PLCT 薄膜的微观组织及电学性能 | 第99-105页 |
| ·多孔PLCT 薄膜的表面形貌 | 第99-100页 |
| ·“三明治”结构PLCT 薄膜的形貌观察 | 第100-102页 |
| ·“三明治”结构PLCT 薄膜的织构 | 第102-103页 |
| ·“三明治”结构PL CT 薄膜的铁电及热释电性能 | 第103-105页 |
| ·“三明治”结构PLCT 薄膜的漏电流特性 | 第105页 |
| ·P LCT/ PNZT 多层薄膜的微观组织结构及电学性能 | 第105-110页 |
| ·PLCT /PNZT 多层薄膜的微观组织结构 | 第106-108页 |
| ·PLCT /PNZT 多层薄膜的铁电及热释电性能 | 第108-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 结论 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-128页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第128-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 个人简历 | 第132页 |
