采用AFM加工微结构的新型装置及实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·微结构加工技术的研究现状 | 第9-15页 |
| ·微结构加工方法 | 第9-10页 |
| ·基于微探针的微结构加工技术 | 第10-13页 |
| ·基于微探针的大范围加工技术 | 第13-15页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 基于AFM 的新型系统设计和软硬件开发 | 第16-27页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·系统构成和原理 | 第16-19页 |
| ·AFM 工作原理 | 第16-18页 |
| ·精密工作台构成和工作原理 | 第18-19页 |
| ·系统的机械结构设计及有限元分析 | 第19-22页 |
| ·系统的机械结构设计 | 第19-20页 |
| ·系统有限元分析 | 第20-22页 |
| ·控制系统的软硬件开发 | 第22-26页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第22-24页 |
| ·控制系统软件设计 | 第24-25页 |
| ·人机交互界面 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 AFM 新型加工系统的精度测试 | 第27-36页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·加工系统定位精度和重复定位精度测试 | 第27-31页 |
| ·加工系统直线度测试 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 机械刻划加工实验研究与误差分析 | 第36-49页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·微探针刻划实验 | 第36-43页 |
| ·实验设备 | 第36-37页 |
| ·样品制备和实验步骤 | 第37-38页 |
| ·机械刻划机理分析 | 第38-39页 |
| ·进给量对加工结果的影响 | 第39-40页 |
| ·偏置电压对加工结果的影响 | 第40-41页 |
| ·工作台移动速度对加工结果的影响 | 第41-42页 |
| ·工作台移动方向对加工结果的影响 | 第42-43页 |
| ·大范围加工实验研究 | 第43-48页 |
| ·微纳线阵列加工 | 第44-46页 |
| ·微纳方坑阵列加工 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
