纳米定位平台的拓扑设计及其集成式闭环控制研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-15页 |
| ·微动平台的发展现状 | 第11-13页 |
| ·微位移传感器的发展现状 | 第13-15页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 基于拓扑优化理论的平台设计 | 第17-36页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·拓扑优化数学建模 | 第17-19页 |
| ·纳米定位平台多目标优化 | 第19-25页 |
| ·帕累托优化原则 | 第19-20页 |
| ·多目标优化模型 | 第20-22页 |
| ·耦合抑制 | 第22-23页 |
| ·整体设计 | 第23-25页 |
| ·拓扑平台的参数分析与设计 | 第25-29页 |
| ·多目标拓扑优化参数分析 | 第25-27页 |
| ·拓扑平台结构设计 | 第27-29页 |
| ·多目标拓扑优化程序设计 | 第29-32页 |
| ·程序设计 | 第29-31页 |
| ·拓扑图像 | 第31-32页 |
| ·图像显示 | 第32页 |
| ·拓扑优化平台 | 第32页 |
| ·多目标拓扑优化有限元分析 | 第32-35页 |
| ·参照组选择 | 第32-33页 |
| ·静态分析 | 第33-34页 |
| ·频率特性分析 | 第34-35页 |
| ·拓扑优化分析 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 MEMS 微位移传感器的研制 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·MEMS 微位移传感器的总体设计 | 第36-37页 |
| ·梳齿传感器理论分析 | 第37-39页 |
| ·静电检测失效分析 | 第39-41页 |
| ·结构失效 | 第39页 |
| ·梳齿的不平行效应 | 第39-41页 |
| ·MEMS 微位移传感器结构设计 | 第41-44页 |
| ·梳齿结构设计 | 第41页 |
| ·柔性梁设计 | 第41-43页 |
| ·有限元分析 | 第43-44页 |
| ·梳齿传感器工艺设计 | 第44-45页 |
| ·梳齿传感器样品 | 第45页 |
| ·传感器的封装与连接 | 第45-46页 |
| ·传感器的封装 | 第45-46页 |
| ·传感器与微动平台的连接 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 精密定位平台控制系统研究 | 第47-56页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·系统模型 | 第47-50页 |
| ·驱动模块 | 第47-48页 |
| ·数据采集模块 | 第48页 |
| ·系统传递函数 | 第48-50页 |
| ·模糊控制研究 | 第50-53页 |
| ·压电陶瓷驱动的模糊控制 | 第50-51页 |
| ·控制策略 | 第51-53页 |
| ·MATLAB 仿真研究 | 第53-55页 |
| ·ANFIS 仿真 | 第53-54页 |
| ·测试响应时间 | 第54-55页 |
| ·噪声信号的去除 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 实验研究 | 第56-68页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·纳米定位平台实验 | 第56-61页 |
| ·纳米定位平台的安装及预紧 | 第56-57页 |
| ·纳米定位平台位移输出特性 | 第57-58页 |
| ·纳米定位平台耦合情况 | 第58页 |
| ·微动平台固有频率 | 第58-59页 |
| ·负载实验 | 第59页 |
| ·重复性实验 | 第59-61页 |
| ·梳齿传感器实验 | 第61-66页 |
| ·检测实验 | 第61-63页 |
| ·标定实验 | 第63-64页 |
| ·传感器迟滞 | 第64-65页 |
| ·灵敏度 | 第65-66页 |
| ·响应特性 | 第66页 |
| ·精密定位系统实验研究 | 第66-67页 |
| ·精密定位平台系统开环迟滞曲线的绘制 | 第66-67页 |
| ·精密定位平台系统闭环性能测试 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 学术论文 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
