| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-42页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-14页 |
| 1.2 气体传感器与颗粒物传感器 | 第14-21页 |
| 1.2.1 常见气体传感器分类 | 第14-18页 |
| 1.2.2 常见颗粒物传感器分类 | 第18-21页 |
| 1.3 集成微型硅光气体传感器和小型颗粒物传感器的研究现状 | 第21-28页 |
| 1.3.1 微型硅光气体传感器的研究现状 | 第21-26页 |
| 1.3.2 小型光学颗粒物传感器的研究现状 | 第26-28页 |
| 1.4 论文主要内容和结构安排 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-42页 |
| 第二章 集成微型硅光气体传感器的研究 | 第42-74页 |
| 2.1 引言 | 第42-43页 |
| 2.2 倏逝场吸收理论 | 第43-46页 |
| 2.2.1 倏逝场理论 | 第43-45页 |
| 2.2.2 基于倏逝场的Beer-Lambert定律 | 第45-46页 |
| 2.3 基于微环谐振器和超低损耗长波导的集成硅光气体传感器 | 第46-62页 |
| 2.3.1 传感器结构设计 | 第46-54页 |
| 2.3.2 传感器的模拟仿真和性能分析 | 第54-62页 |
| 2.4 基于密闭槽波导的微型硅光气体传感器 | 第62-68页 |
| 2.4.1 传感器结构 | 第63-64页 |
| 2.4.2 传感器的结构优化和性能分析 | 第64-68页 |
| 2.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 第三章 小型颗粒物传感器的研究 | 第74-113页 |
| 3.1 引言 | 第74-75页 |
| 3.2 Rayleigh散射和Mie散射 | 第75-79页 |
| 3.2.1 Rayleigh散射 | 第76页 |
| 3.2.2 Mie散射理论 | 第76-79页 |
| 3.3 基于高透明“U”型玻璃通道的颗粒物传感器 | 第79-89页 |
| 3.3.1 传感器的工作原理和结构设计 | 第79-85页 |
| 3.3.2 传感器测试装置搭建 | 第85-87页 |
| 3.3.3 传感器的测试与性能分析 | 第87-89页 |
| 3.4 基于复合抛物面集光器的高性能颗粒物传感器的研究 | 第89-108页 |
| 3.4.1 基于复合抛物面集光器的颗粒物传感器的结构设计 | 第90-92页 |
| 3.4.2 传感器的仿真与性能分析 | 第92-96页 |
| 3.4.3 传感器的制作与测试系统搭建 | 第96-101页 |
| 3.4.4 传感器测试与结果分析 | 第101-106页 |
| 3.4.5 传感器结构完善 | 第106-108页 |
| 3.5 本章小结 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-113页 |
| 第四章 总结和展望 | 第113-116页 |
| 4.1 论文总结 | 第113-114页 |
| 4.2 论文展望 | 第114-116页 |
| 缩略词 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-120页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第120页 |
