| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-20页 |
| 1.2.1 压电致动微位移扫描平台研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.2 压电陶瓷驱动器迟滞非线性技术研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.3 柔性机构振动控制方法技术研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 研究目的 | 第20-21页 |
| 1.4 本文论文安排及主要内容 | 第21-22页 |
| 2 压电致动微位移扫描平台系统原理建模与分析 | 第22-32页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 压电致动微位移扫描平台系统 | 第22-28页 |
| 2.2.1 压电致动微位移扫描平台系统的压电驱动器迟滞非线性建模 | 第22-24页 |
| 2.2.2 压电致动微位移扫描平台系统的线性部分的模型建立 | 第24-26页 |
| 2.2.3 压电致动微位移扫描平台系统中的电容传感器 | 第26-27页 |
| 2.2.4 压电致动微位移扫描平台系统中的驱动放大器 | 第27-28页 |
| 2.3 压电致动微位移扫描平台系统对象特性测量 | 第28-30页 |
| 2.3.1 dSPACE实时仿真系统 | 第28-29页 |
| 2.3.2 压电致动的微位移扫描系统的开环频率响应 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 基于模型参考自适应与时滞位置反馈的复合控制方法 | 第32-44页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 压电致动微位移扫描平台的系统模型 | 第32-33页 |
| 3.3 控制策略方法理论分析 | 第33-38页 |
| 3.3.1 时滞位置反馈控制器的设计 | 第33-35页 |
| 3.3.2 模型参考自适应控制器的设计 | 第35-38页 |
| 3.4 控制策略理论仿真测试 | 第38-43页 |
| 3.4.1 Simulink简介 | 第38-39页 |
| 3.4.2 控制系统幅频特性仿真测试 | 第39页 |
| 3.4.3 控制系统动态特性仿真测试 | 第39-43页 |
| 3.5 总结 | 第43-44页 |
| 4 压电致动微位移扫描平台的实验测试与分析 | 第44-58页 |
| 4.0 引言 | 第44页 |
| 4.1 实验测试平台介绍 | 第44-46页 |
| 4.2 压电致动微位移扫描平台的静态特性测试 | 第46-47页 |
| 4.2.1 系统精度标定 | 第46页 |
| 4.2.2 系统噪声测试 | 第46-47页 |
| 4.3 压电致动微位移扫描平台的动态特性测试 | 第47-56页 |
| 4.3.1 阶跃响应测试 | 第47-48页 |
| 4.3.2 控制带宽测试 | 第48页 |
| 4.3.3 信号的跟踪测试 | 第48-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 5 全文总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 研究工作 | 第58页 |
| 5.2 本文主要创新点 | 第58-59页 |
| 5.3 后续研究工作与展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 附录 | 第68页 |
| A.作者在攻读硕士学位期间其他相关工作 | 第68页 |
