基于FPGA的阵列式二维压电扫描镜开环补偿研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第9-11页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第11-13页 |
| 2 压电陶瓷的非线性效应与相关的补偿算法 | 第13-23页 |
| 2.1 压电陶瓷的磁滞效应 | 第13-14页 |
| 2.2 压电陶瓷的蠕变效应 | 第14-15页 |
| 2.3 磁滞效应的建模 | 第15-19页 |
| 2.4 蠕变效应的建模 | 第19-20页 |
| 2.5 开环补偿算法 | 第20-22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 压电扫描镜的硬件平台 | 第23-34页 |
| 3.1 压电扫描镜的硬件控制系统 | 第23-24页 |
| 3.2 压电扫描镜的机械结构 | 第24-26页 |
| 3.3 压电扫描镜的驱动放大电路 | 第26-28页 |
| 3.4 压电扫描镜的核心控制电路 | 第28-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 压电扫描镜的软件控制系统 | 第34-60页 |
| 4.1 压电扫描镜的控制命令 | 第34-35页 |
| 4.2 CAN通信 | 第35-44页 |
| 4.3 DAC8544的程序设计与仿真 | 第44-45页 |
| 4.4 Flash的访问控制与查找表的构建 | 第45-51页 |
| 4.5 开环补偿算法处理 | 第51-56页 |
| 4.6 算法的Verilog实现 | 第56-59页 |
| 4.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 压电扫描镜的系统测试 | 第60-66页 |
| 5.1 实验测试系统的搭建 | 第60-61页 |
| 5.2 二维压电扫描镜的性能测试与结果分析 | 第61-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第73-74页 |
| 附录2 FPGA的部分程序 | 第74-77页 |
