| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-20页 |
| 1.1 选题依据 | 第7-8页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第7页 |
| 1.1.2 课题研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 微细超声加工技术发展概述 | 第8-15页 |
| 1.2.1 超声加工技术原理 | 第8-10页 |
| 1.2.2 超声加工技术的发展及应用 | 第10-15页 |
| 1.3 微细超声加工大深径比孔的研究 | 第15-17页 |
| 1.4 工具摇动加工的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.5 论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 2 微细超声加工装置及其控制程序 | 第20-32页 |
| 2.1 微细超声加工装置 | 第20-28页 |
| 2.1.1 微细工具在线制备模块 | 第21-22页 |
| 2.1.2 伺服进给系统及旋转主轴模块 | 第22-23页 |
| 2.1.3 微细超声加工模块 | 第23-26页 |
| 2.1.4 加工状态检测模块 | 第26-27页 |
| 2.1.5 实时观测与测量模块 | 第27-28页 |
| 2.2 微细超声加工控制程序 | 第28-32页 |
| 2.2.1 伺服控制模块 | 第28-30页 |
| 2.2.2 摇动程序模块 | 第30页 |
| 2.2.3 探测感知模块 | 第30-32页 |
| 3 可行性实验 | 第32-46页 |
| 3.1 测量振幅 | 第32-33页 |
| 3.2 摇动参数的选择 | 第33-37页 |
| 3.3 计算工具磨损长度 | 第37-38页 |
| 3.4 实验条件 | 第38-39页 |
| 3.5 实验过程及注意事项 | 第39-41页 |
| 3.5.1 实验步骤 | 第40页 |
| 3.5.2 注意事项 | 第40-41页 |
| 3.6 实验结果及分析 | 第41-43页 |
| 3.7 实验中发现的问题 | 第43-44页 |
| 3.8 小结 | 第44-46页 |
| 4 工具摇动辅助超声波微孔加工 | 第46-61页 |
| 4.1 实验方案及条件 | 第46-48页 |
| 4.2 实验结果及分析 | 第48-59页 |
| 4.2.1 有无工具摇动辅助超声波微孔加工实验结果 | 第48-50页 |
| 4.2.2 工具摇动对加工效率的影响 | 第50-53页 |
| 4.2.3 工具摇动对深径比的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.4 工具摇动对工具磨损的影响 | 第55-57页 |
| 4.2.5 工具摇动对加工间隙的影响 | 第57-59页 |
| 4.3 小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |