| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题的来源、背景及其意义 | 第9-10页 |
| 1.2 绝缘体上硅材料与功率分离器简介 | 第10-13页 |
| 1.2.1 绝缘体上硅材料 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光功率分离器的发展 | 第11-13页 |
| 1.3 反向自动优化硅光子器件的研究现状 | 第13-19页 |
| 1.3.1 像素点型自动优化硅光子器件的研究进展 | 第13-16页 |
| 1.3.2 拓扑型自动优化硅光子器件的研究进展 | 第16-18页 |
| 1.3.3 自动优化方法其他器件的研究 | 第18-19页 |
| 1.3.4 研究现状分析 | 第19页 |
| 1.4 本论文主要研究工作 | 第19-21页 |
| 第2章 类二维码任意比例硅光功分器的设计与优化 | 第21-33页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 多模干涉器的理论分析 | 第21-22页 |
| 2.3 类二维码任意比例硅光功分器的设计 | 第22-27页 |
| 2.4 类二维码任意比例硅光功分器的仿真结果与分析 | 第27-31页 |
| 2.4.1 2.7μm×2.7μm器件仿真结果与分析 | 第27-29页 |
| 2.4.2 3.6μm×3.6μm器件仿真结果与分析 | 第29-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 类二维码任意比例硅光功分器的实验制备 | 第33-43页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 光刻前制备工艺 | 第33-36页 |
| 3.3 硅基无源器件样品制备 | 第36-40页 |
| 3.4 实验光路搭建 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 类二维码任意比例硅光功分器的测量与分析 | 第43-53页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 类二维码任意比例硅光功分器的测量方法 | 第43-46页 |
| 4.3 类二维码任意比例硅光功分器的实验结果与分析 | 第46-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读学位期间所获得的研究成果 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
