形貌与边缘复合测量探头系统
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 1 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第16-17页 |
| 1.2 研究现状 | 第17-23页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 探头相关测量原理 | 第24-37页 |
| 2.1 表面形貌测量原理和方法 | 第24-30页 |
| 2.1.1 显微干涉测量原理 | 第25-26页 |
| 2.1.2 相位提取算法 | 第26-28页 |
| 2.1.3 相位解包裹算法 | 第28-30页 |
| 2.2 蓝光DVD读取头结构和工作原理 | 第30-31页 |
| 2.3 边缘与高度测量原理 | 第31-36页 |
| 2.3.1 高度测量原理 | 第32页 |
| 2.3.2 边缘检测原理 | 第32-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 探头设计 | 第37-54页 |
| 3.1 相移干涉光路设计 | 第37-47页 |
| 3.1.1 激光光源 | 第37-38页 |
| 3.1.2 激光功率自动控制 | 第38页 |
| 3.1.3 衰减片 | 第38-39页 |
| 3.1.4 显微物镜 | 第39-40页 |
| 3.1.5 移相方法和移相器 | 第40-46页 |
| 3.1.6 CCD和镜头 | 第46-47页 |
| 3.2 硬件电路设计 | 第47-50页 |
| 3.2.1 蓝光DVD光学读取头启动电路 | 第47页 |
| 3.2.2 信号处理电路 | 第47-49页 |
| 3.2.3 自动功率控制电路 | 第49-50页 |
| 3.3 形貌与边缘复合测量探头系统整体结构 | 第50-53页 |
| 3.3.1 探头系统初期实验结构 | 第50页 |
| 3.3.2 探头系统整体结构 | 第50-52页 |
| 3.3.3 探头光路调节 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 实验结果及误差分析 | 第54-76页 |
| 4.1 激光自动功率控制实验 | 第54-55页 |
| 4.2 标定PZT | 第55-58页 |
| 4.3 标定聚焦误差曲线 | 第58-61页 |
| 4.4 测量实例 | 第61-72页 |
| 4.4.1 阶高测量 | 第61-63页 |
| 4.4.2 边缘检测应用-测量微孔 | 第63-65页 |
| 4.4.3 边缘检测应用-测量宽度 | 第65-67页 |
| 4.4.4 探头初期形貌测量 | 第67页 |
| 4.4.5 栅格表面测量 | 第67-69页 |
| 4.4.6 光学平面镜表面形貌测量 | 第69-70页 |
| 4.4.7 钢球表面测量 | 第70-72页 |
| 4.5 系统测量分辨力分析 | 第72页 |
| 4.5.1 横向分辨力 | 第72页 |
| 4.5.2 纵向分辨力 | 第72页 |
| 4.6 误差分析 | 第72-75页 |
| 4.6.1 硬件电路误差 | 第73页 |
| 4.6.2 机械结构误差 | 第73-74页 |
| 4.6.3 环境因素等其它误差 | 第74-75页 |
| 4.7 本章小结 | 第75-76页 |
| 5 总结与展望 | 第76-78页 |
| 5.1 总结 | 第76页 |
| 5.2 展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第82-83页 |
| 1 )参加的学术交流与科研项目 | 第82页 |
| 2 )发表的学术论文 | 第82页 |
| 3 )获得的学术奖励 | 第82-83页 |
