| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 离子渗氮的原理与新技术研究现状 | 第11-21页 |
| 1.2.1 离子渗氮技术发展历史 | 第11-12页 |
| 1.2.2 离子渗氮机理研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.3 等离子体源离子渗氮技术研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.4 工具钢的离子渗氮发展现状 | 第18-21页 |
| 1.3 离子源技术研究现状 | 第21-24页 |
| 1.3.1 阳极层离子源工作原理 | 第21-23页 |
| 1.3.2 离子源技术与设备研究现状 | 第23-24页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 实验材料及分析方法 | 第25-33页 |
| 2.1 实验材料 | 第25-26页 |
| 2.2 渗氮设备与参数 | 第26-30页 |
| 2.2.1 阳极层离子源辅助渗氮实验设备与参数 | 第26-28页 |
| 2.2.2 辉光放电辅助渗氮实验设备与参数 | 第28-30页 |
| 2.3 实验测试分析方法与手段 | 第30-33页 |
| 2.3.1 等离子体密度与能量的测定 | 第30-32页 |
| 2.3.2 渗层组织形貌观察 | 第32页 |
| 2.3.3 试样表面粗糙度 | 第32页 |
| 2.3.4 渗层表面与截面硬度 | 第32页 |
| 2.3.5 试样摩擦磨损性能测试 | 第32-33页 |
| 第3章 等离子体密度与能量的测量及其变化规律 | 第33-43页 |
| 3.1 工艺参数对阳极层离子源等离子体的影响 | 第33-39页 |
| 3.1.1 阳极层离子源等离子体的测量方法 | 第33-34页 |
| 3.1.2 炉内气压对阳极层离子源等离子体的影响 | 第34-37页 |
| 3.1.3 所加电流对阳极层离子源等离子体的影响 | 第37-39页 |
| 3.2 工艺参数对辉光放电等离子体的影响 | 第39-42页 |
| 3.2.1 辉光放电等离子体的测量方法 | 第39-40页 |
| 3.2.2 炉内气压对辉光放电等离子体的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.3 阴极电压对辉光放电等离子体的影响 | 第41-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 阳极层离子源辅助渗氮层的组织与性能 | 第43-59页 |
| 4.1 渗氮温度对阳极层离子源辅助渗氮层组织性能的影响 | 第43-50页 |
| 4.1.1 渗氮温度对渗氮层组织的影响 | 第43-45页 |
| 4.1.2 渗氮温度对渗氮层硬度的影响 | 第45-47页 |
| 4.1.3 渗氮温度对渗氮层摩擦磨损性能的影响 | 第47-50页 |
| 4.2 电流对阳极层离子源辅助渗氮层组织性能的影响 | 第50-52页 |
| 4.2.1 电流对渗氮层组织的影响 | 第50页 |
| 4.2.2 电流对渗氮层硬度的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.3 电流对渗氮后试样表面粗糙度的影响 | 第51-52页 |
| 4.3 气氛对阳极层离子源辅助渗氮层组织性能的影响 | 第52-55页 |
| 4.3.1 气氛对渗氮层组织的影响 | 第52-53页 |
| 4.3.2 气氛对渗氮层硬度的影响 | 第53-54页 |
| 4.3.3 气氛对渗氮试样表面粗糙度的影响 | 第54-55页 |
| 4.4 渗氮时间对阳极层离子源辅助渗氮层组织性能的影响 | 第55-58页 |
| 4.4.1 渗氮时间对渗氮层组织的影响 | 第55-56页 |
| 4.4.2 渗氮时间对渗氮层硬度的影响 | 第56页 |
| 4.4.3 渗氮时间对渗氮层摩擦磨损性能的影响 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 辉光放电辅助渗氮层的组织与性能 | 第59-73页 |
| 5.1 渗氮温度对辉光放电辅助渗氮层组织性能的影响 | 第59-63页 |
| 5.1.1 渗氮温度对渗氮层组织的影响 | 第59-60页 |
| 5.1.2 渗氮温度对渗氮层硬度的影响 | 第60-61页 |
| 5.1.3 渗氮温度对渗氮层摩擦磨损性能的影响 | 第61-63页 |
| 5.2 电压对辉光放电辅助渗氮层组织性能的影响 | 第63-66页 |
| 5.2.1 电压对渗氮层组织的影响 | 第63-64页 |
| 5.2.2 电压对渗氮层硬度的影响 | 第64-65页 |
| 5.2.3 电压对渗氮层摩擦磨损性能的影响 | 第65-66页 |
| 5.3 气压对辉光放电辅助渗氮层组织性能的影响 | 第66-69页 |
| 5.3.1 气压对渗氮层组织的影响 | 第66-67页 |
| 5.3.2 气压对渗氮层硬度的影响 | 第67-68页 |
| 5.3.3 气压对渗氮层摩擦磨损性能的影响 | 第68-69页 |
| 5.4 渗氮时间对辉光放电辅助渗氮层组织性能的影响 | 第69-71页 |
| 5.4.1 渗氮时间对渗氮层组织的影响 | 第69-70页 |
| 5.4.2 渗氮时间对渗氮层摩擦磨损性能的影响 | 第70-71页 |
| 5.5 两种渗氮方式对比分析 | 第71-72页 |
| 5.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
