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单晶硅制绒和辊式扩散硼发射极的研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-13页
    1.1 研究背景与意义第10页
    1.2 晶硅电池发展第10-11页
    1.3 本论文的研究意义和主要内容第11-13页
第2章 表征方法第13-23页
    2.1 扫描电子显微镜(SEM)第13-14页
    2.2 紫外-近红外光谱测试第14-15页
    2.3 ECV测试第15-16页
    2.4 四探针方块电阻测试第16-18页
    2.5 少子寿命测试第18-19页
    2.6 量子效率测试第19-20页
    2.7 I-V测试第20-21页
    2.8 冷热探针测半导体导电类型第21-23页
第3章 单晶硅表面制绒过程研究第23-40页
    3.1 单晶硅制绒表面织构化原理第23-28页
        3.1.1 光学损失第23-24页
        3.1.2 单晶硅绒面制备机理第24-27页
        3.1.3 硅片切割模式第27-28页
    3.2 金字塔大小对电池的影响第28-30页
        3.2.1 小金字塔尺寸分析第28-29页
        3.2.2 PC1D模拟绒面大小对电池性能的影响第29-30页
    3.3 绒面的制备第30-31页
    3.4 单晶制绒添加剂对制绒的影响第31-32页
        3.4.1 无添加剂制绒第31页
        3.4.2 不同制绒添加剂对绒面的影响第31-32页
    3.5 损伤层对制绒的影响第32-39页
        3.5.1 损伤层形貌与结构第32-35页
        3.5.2 金刚线切割硅片制绒特性第35-37页
        3.5.3 抛光硅片制绒特性第37-39页
    3.6 本章小结第39-40页
第4章 辊式扩散制备硼发射极第40-57页
    4.1第40-50页
        4.1.1 N型太阳电池优势第40-41页
        4.1.2 扩散原理第41-44页
        4.1.3 硼扩散的主要方式第44-48页
        4.1.4 N型电池制备技术第48-50页
    4.2 辊式扩散制备B发射极第50-57页
        4.2.1 辊式扩散发展第50-51页
        4.2.2 B发射极的制备第51-53页
        4.2.3 电池性能测试第53-57页
第5章 论文总结第57-58页
参考文献第58-62页
致谢第62-63页
攻读学位期间取得的科研成果第63页

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