| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 化学镀铜的研究 | 第10-13页 |
| 1.2 低应力化学镀铜的研究 | 第13-15页 |
| 1.3 化学镀铜稳定性的研究 | 第15-17页 |
| 1.4 本课题研究的意义和目的 | 第17-18页 |
| 第2章 实验方法 | 第18-24页 |
| 2.1 实验原理 | 第18-19页 |
| 2.2 实验材料 | 第19页 |
| 2.3 实验步骤 | 第19-24页 |
| 2.3.1 ABS基板的前处理 | 第19-21页 |
| 2.3.2 化学镀铜溶液的配制及操作条件 | 第21页 |
| 2.3.3 化学镀铜速率的测定 | 第21页 |
| 2.3.4 化学镀铜形貌的检测 | 第21-22页 |
| 2.3.5 化学镀铜膜应力的检测 | 第22-23页 |
| 2.3.6 镀液寿命的检测 | 第23-24页 |
| 第3章 添加剂对低温化学镀铜速率和形貌的影响 | 第24-52页 |
| 3.1 引言 | 第24-25页 |
| 3.2 单一添加剂对化学镀铜沉积速率的影响 | 第25-34页 |
| 3.2.1 单一添加腺嘌呤对化学镀铜沉积速率的影响 | 第25-26页 |
| 3.2.2 单一添加鸟嘌呤对化学镀铜沉积速率的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.3 单一添加亚硫酸钠对化学镀铜沉积速率的影响 | 第27-28页 |
| 3.2.4 单一添加硅酸钠对化学镀铜沉积速率的影响 | 第28-29页 |
| 3.2.5 单一添加六氟硅酸钠对化学镀铜沉积速率的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.6 单一添加8-羟基-7-碘-5-喹啉磺酸对化学镀铜沉积速率的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.7 单一添加聚乙烯吡咯烷酮对化学镀铜沉积速率的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.8 单一添加FC-80对化学镀铜沉积速率的影响 | 第32-33页 |
| 3.2.9 单一添加FC-134对化学镀铜沉积速率的影响 | 第33-34页 |
| 3.3 复合添加剂对化学镀铜沉积速率的影响 | 第34-45页 |
| 3.3.1 腺嘌呤与亚硫酸钠一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.2 鸟嘌呤与高铁试剂一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第35页 |
| 3.3.3 L-苹果酸与PVP一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.4 L-苹果酸与硅酸钠一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.5 L-苹果酸与六氟硅酸钠一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.6 L-苹果酸与FC-80一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.7 L-苹果酸与FC-134一起添加对化学镀铜沉积速率的影响 | 第39页 |
| 3.3.8 原体系中加入亚硫酸钠对化学镀铜沉积速率的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.9 用腺嘌呤替换体系3.3.8中的L-苹果酸后速率变化 | 第40-41页 |
| 3.3.10 原体系中加入硅酸钠对化学镀铜沉积速率的影响 | 第41页 |
| 3.3.11 原体系中加入六氟硅酸钠对化学镀铜沉积速率的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.12 原体系中加入PVP对化学镀铜沉积速率的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.13 原体系中加入高铁试剂对化学镀铜沉积速率的影响 | 第43页 |
| 3.3.14 用鸟嘌呤替换体系3.3.13中的L-苹果酸后速率变化 | 第43-44页 |
| 3.3.15 原体系中加入FC-80对化学镀铜沉积速率的影响 | 第44-45页 |
| 3.3.16 原体系中加入FC-134对化学镀铜沉积速率的影响 | 第45页 |
| 3.4 两种添加剂复合对化学镀铜沉积形貌的影响 | 第45-47页 |
| 3.5 多种添加剂复合对化学镀铜沉积形貌的影响 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-52页 |
| 第4章 添加剂对低温化学镀铜膜应力的影响 | 第52-60页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 应力的测试 | 第52-56页 |
| 4.3 六氟硅酸钠对化学镀铜膜应力的影响 | 第56-57页 |
| 4.4 FC-80对化学镀铜膜应力的影响 | 第57-58页 |
| 4.5 FC-134代替硫酸镍对化学镀铜膜应力的影响 | 第58-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 添加剂对低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第60-84页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 负载的研究 | 第60-61页 |
| 5.3 镀液各成分补加量的测定 | 第61-62页 |
| 5.3.1 Cu~(2+)的测定 | 第61-62页 |
| 5.3.2 HCHO的测定 | 第62页 |
| 5.4 添加剂对镀液周期的影响 | 第62-81页 |
| 5.4.1 原低温低应力化学镀铜溶液周期的测定 | 第62-66页 |
| 5.4.2 亚硫酸钠对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第66-68页 |
| 5.4.3 腺嘌呤与亚硫酸钠一起添加对化学镀铜溶液周期的影响 | 第68-69页 |
| 5.4.4 硅酸钠对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第69-71页 |
| 5.4.5 PVP对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第71-73页 |
| 5.4.6 六氟硅酸钠对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第73-74页 |
| 5.4.7 高铁试剂对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第74-76页 |
| 5.4.8 鸟嘌呤与高铁试剂一起添加对化学镀铜溶液周期的影响 | 第76-78页 |
| 5.4.9 FC-80对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第78-79页 |
| 5.4.10 FC-134对原低温低应力化学镀铜溶液周期的影响 | 第79-81页 |
| 5.5 本章小结 | 第81-84页 |
| 第6章 全文总结 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-92页 |
| 致谢 | 第92-94页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第94页 |
