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TiN薄膜的制备及其腐蚀磨损性能研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-30页
   ·引言第8页
   ·TiN 薄膜的制备第8-18页
     ·多弧离子镀第9-14页
     ·磁过滤阴极弧离子镀第14-17页
     ·脉冲偏压第17-18页
   ·金属的摩擦磨损第18-20页
     ·摩擦磨损概念第18页
     ·摩擦磨损性能评价第18-20页
   ·腐蚀分类及研究方法第20-28页
     ·腐蚀的分类第20-22页
     ·腐蚀研究的方法第22-23页
     ·电化学腐蚀原理第23-28页
   ·课题的提出及主要研究内容第28-30页
     ·课题的提出第28页
     ·课题的主要研究内容第28-30页
第二章 高速钢上镀 TIN 薄膜工艺参数优化第30-49页
   ·实验材料及设备第30-31页
     ·实验材料第30页
     ·实验设备第30-31页
   ·实验方案第31-32页
     ·实验步骤第31页
     ·检测方法及仪器第31-32页
     ·实验工艺方案第32页
   ·试验结果与分析第32-48页
     ·偏压的的影响第32-37页
     ·氮分压的影响第37-43页
     ·过滤磁场电流的影响第43-48页
   ·小结第48-49页
第三章 镀层的摩擦磨损性能研究第49-59页
   ·实验设备及原理第49-50页
   ·实验材料及参数第50-51页
   ·实验结果与分析第51-58页
     ·偏压对耐磨性的影响第51-53页
     ·氮分压对耐磨性的影响第53-56页
     ·过滤磁场电流对耐磨性的影响第56-58页
   ·小结第58-59页
第四章 镀层的耐蚀性能研究第59-67页
   ·试验条件第59-61页
     ·试验设备第59-60页
     ·试样准备第60-61页
   ·试验方法第61页
   ·试验结果与讨论第61-67页
     ·0.5mol/l NaCl 溶液电化学腐蚀性能第61-63页
     ·0.5mol/l H_2SO_4溶液电化学腐蚀性能第63-64页
     ·0.5mol/l Hanks’溶液电化学腐蚀性能第64-67页
第五章 结论第67-69页
参考文献第69-76页
致谢第76-78页
硕士期间发表论文第78页

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