| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 图清单 | 第9-11页 |
| 表清单 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-19页 |
| 1.2.1 硬质薄膜的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.2 薄膜水润滑摩擦学研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 薄膜耐腐蚀性能研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 B-C 基薄膜的研究进展 | 第19-21页 |
| 1.3.1 B-C 基薄膜的研究背景 | 第19页 |
| 1.3.2 B-C 基薄膜的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 本文的主要研究内容及研究意义 | 第21-23页 |
| 1.4.1 本文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4.2 本文的研究意义 | 第22-23页 |
| 第二章 试验方法 | 第23-30页 |
| 2.1 实验方案 | 第23页 |
| 2.2 实验材料 | 第23-25页 |
| 2.2.1 制备薄膜的靶材和基体 | 第23-24页 |
| 2.2.2 摩擦试验对摩副 | 第24页 |
| 2.2.3 溶液的配制 | 第24-25页 |
| 2.3 Cr-B-C 薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 2.3.1 磁控溅射设备 | 第25页 |
| 2.3.2 Cr-B-C 薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 2.4 Cr-B-C 薄膜的表征方法 | 第26-28页 |
| 2.4.1 薄膜微观形貌和物相结构分析 | 第26页 |
| 2.4.2 薄膜机械性能分析 | 第26-28页 |
| 2.5 摩擦磨损试验 | 第28-29页 |
| 2.6 薄膜电化学特性测试 | 第29页 |
| 2.7 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 Cr-B-C 薄膜的制备及表征 | 第30-42页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 Cr-B-C 薄膜制备实验方案 | 第30页 |
| 3.3 射频靶功率对薄膜性能的影响 | 第30-36页 |
| 3.3.1 射频靶功率对薄膜表面形貌的影响 | 第30-32页 |
| 3.3.2 射频靶功率对 Cr-B-C 薄膜成分的影响 | 第32-34页 |
| 3.3.3 射频靶功率对 Cr-B-C 薄膜机械性能的影响 | 第34页 |
| 3.3.4 射频靶功率对 Cr-B-C 薄膜表面粗糙度的影响 | 第34-36页 |
| 3.4 偏压对 Cr-B-C 薄膜成分和性能的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.1 偏压对 Cr-B-C 薄膜成分和结构的影响 | 第36-37页 |
| 3.4.2 偏压对 Cr-B-C 薄膜机械性能的影响 | 第37页 |
| 3.4.3 偏压对 Cr-B-C 薄膜粗糙度的影响 | 第37-38页 |
| 3.5 温度对 Cr-B-C 薄膜性能的影响 | 第38-41页 |
| 3.5.1 温度对 Cr-B-C 薄膜机械性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.5.2 温度对 Cr-B-C 薄膜表面粗糙度的影响 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 Cr-B-C 薄膜水润滑摩擦学特性的研究 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 不同射频功率下 Cr-B-C 薄膜水润滑摩擦学特性的研究 | 第42-45页 |
| 4.2.1 不同射频溅射功率下 Cr-B-C 薄膜的摩擦学行为 | 第42-43页 |
| 4.2.2 不同射频溅射功率下 Cr-B-C 薄膜的磨痕分析 | 第43-45页 |
| 4.3 不同偏压下制备的 Cr-B-C 薄膜水润滑摩擦学特性研究 | 第45-48页 |
| 4.3.1 不同偏压下 Cr-B-C 薄膜的摩擦行为 | 第45-46页 |
| 4.3.2 不同偏压下 Cr-B-C 薄膜的磨痕分析 | 第46-48页 |
| 4.4 不同温度下制备的 Cr-B-C 薄膜水润滑摩擦学特性研究 | 第48-50页 |
| 4.4.1 不同温度下 Cr-B-C 薄膜的摩擦行为 | 第48-49页 |
| 4.4.2 不同温度下 Cr-B-C 薄膜的磨痕分析 | 第49-50页 |
| 4.5 载荷对 Cr-B-C 薄膜水润滑摩擦学特性的影响 | 第50-53页 |
| 4.5.1 不同载荷下 Cr-B-C 薄膜的水润滑摩擦行为 | 第50-51页 |
| 4.5.2 不同载荷下 Cr-B-C 薄膜的磨痕分析 | 第51-53页 |
| 4.6 往复速率对 Cr-B-C 薄膜水润滑摩擦学特性的影响 | 第53-55页 |
| 4.6.1 不同滑动速率下 Cr-B-C 薄膜的水润滑摩擦行为 | 第53页 |
| 4.6.2 不同滑动速率下 Cr-B-C 薄膜的磨痕分析 | 第53-55页 |
| 4.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 Cr-B-C 薄膜在不同水溶液中的电化学及摩擦学特性 | 第56-65页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 Cr-B-C 薄膜在不同水溶液中的电化学特性 | 第56-62页 |
| 5.2.1 Cr-B-C 薄膜在不同水溶液中的开路电压 | 第56-57页 |
| 5.2.2 Cr-B-C 薄膜在不同水溶液中的交流阻抗谱 | 第57-60页 |
| 5.2.3 Cr-B-C 薄膜在不同水溶液中的动电位极化测试 | 第60-62页 |
| 5.3 Cr-B-C 薄膜在不同环境下的摩擦学特性 | 第62-64页 |
| 5.3.1 Cr-B-C 薄膜在不同环境下的摩擦学行为 | 第62页 |
| 5.3.2 Cr-B-C 薄膜在不同环境下的磨痕分析 | 第62-64页 |
| 5.4 分析和讨论 | 第64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 本文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第74页 |
