| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 Ir涂层的制备方法和研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 熔盐电解沉积 | 第11-12页 |
| 1.2.2 物理气相沉积 | 第12-13页 |
| 1.2.3 化学气相沉积 | 第13-15页 |
| 1.3 化学气相沉积 | 第15-26页 |
| 1.3.1 化学气相沉积的基本原理 | 第15-17页 |
| 1.3.2 化学气相沉积过程的热力学与动力学分析 | 第17-21页 |
| 1.3.3 化学气相沉积工艺的控制 | 第21-24页 |
| 1.3.4 化学气相沉积中沉积物的结构 | 第24-26页 |
| 1.4 选题的意义和研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 实验过程 | 第28-40页 |
| 2.1 Ir涂层的制备 | 第28-35页 |
| 2.1.1 Ir涂层制备的基本原理 | 第28页 |
| 2.1.2 Ir(acac)_3的性质及预处理 | 第28-30页 |
| 2.1.3 基体材料的预处理 | 第30-31页 |
| 2.1.4 Ir涂层制备的实验设备 | 第31-33页 |
| 2.1.5 Ir涂层制备的实验过程 | 第33-34页 |
| 2.1.6 Ir涂层制备的工艺参数 | 第34-35页 |
| 2.2 Ir涂层的高温实验 | 第35-36页 |
| 2.3 Ir涂层的测试表征 | 第36-40页 |
| 2.3.1 Ir涂层的微观形貌表征 | 第36-37页 |
| 2.3.2 X射线衍射分析 | 第37页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜观察 | 第37-38页 |
| 2.3.4 热重分析 | 第38-40页 |
| 第三章 无水条件下沉积温度对Ir涂层高温稳定性的影响 | 第40-56页 |
| 3.1 沉积温度对Ir涂层原始特征的影响 | 第40-44页 |
| 3.2 氩气气氛下Ir涂层的高温稳定性研究 | 第44-51页 |
| 3.3 空气气氛下Ir涂层的高温稳定性研究 | 第51-53页 |
| 3.4 空气-氩气条件下Ir涂层的高温稳定性研究 | 第53-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 含水气氛对Ir涂层高温稳定性的影响 | 第56-68页 |
| 4.1 含水气氛对Ir涂层原始特征的影响 | 第56-59页 |
| 4.2 氩气气氛下Ir涂层的高温稳定性研究 | 第59-65页 |
| 4.3 空气-氩气条件下Ir涂层的高温稳定性研究 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 结论及展望 | 第68-70页 |
| 5.1 结论 | 第68页 |
| 5.2 展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-80页 |
| 附录 (攻读硕士期间论文发表情况) | 第80页 |