| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 类金刚石碳基薄膜材料的概述 | 第7-13页 |
| 1.1.1 类金刚石碳基薄膜的结构和种类 | 第7-9页 |
| 1.1.2 类金刚石碳基薄膜的性能与应用 | 第9-10页 |
| 1.1.3 类金刚石碳基薄膜的制备方法 | 第10-11页 |
| 1.1.4 类金刚石碳基薄膜存在的问题 | 第11-13页 |
| 1.2 金属掺杂复合类金刚石碳膜的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.1 碳化物金属掺杂复合类金刚石碳膜 | 第13-14页 |
| 1.2.2 非碳化物金属掺杂复合类金刚石碳膜 | 第14-15页 |
| 1.3 本课题的研究意义和研究内容 | 第15-17页 |
| 1.3.1 课题的研究意义 | 第15-16页 |
| 1.3.2 课题的研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 Ti/a-C:H复合薄膜微观结构和性能的研究 | 第17-29页 |
| 2.1 前言 | 第17-18页 |
| 2.2 实验过程 | 第18-19页 |
| 2.2.1 薄膜的制备 | 第18页 |
| 2.2.2 薄膜的表征 | 第18-19页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第19-28页 |
| 2.3.1 微结构 | 第19-23页 |
| 2.3.4 机械性能 | 第23-24页 |
| 2.3.5 摩擦磨损行为 | 第24-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 Cr/a-C:H复合薄膜微观结构和性能的研究 | 第29-40页 |
| 3.1 前言 | 第29页 |
| 3.2 实验部分 | 第29-30页 |
| 3.2.1 薄膜的制备 | 第29-30页 |
| 3.2.2 薄膜的表征 | 第30页 |
| 3.3 实验结果 | 第30-37页 |
| 3.3.1 微结构 | 第30-33页 |
| 3.3.2 机械性能 | 第33-34页 |
| 3.3.3 摩擦磨损行为 | 第34-37页 |
| 3.4 结果讨论 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 Fe/a-C:H复合薄膜微观结构和性能的研究 | 第40-51页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 实验部分 | 第40-41页 |
| 4.2.1 薄膜的制备 | 第40-41页 |
| 4.2.2 薄膜的表征 | 第41页 |
| 4.3 实验结果 | 第41-48页 |
| 4.3.1 微结构 | 第41-44页 |
| 4.3.2 机械性能 | 第44-45页 |
| 4.3.3 摩擦磨损行为 | 第45-48页 |
| 4.4 结果讨论 | 第48-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第58-59页 |
