| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第7-9页 |
| 1.2 波前畸变的划分 | 第9-11页 |
| 1.3 干涉仪的分类 | 第11-13页 |
| 1.3.1 菲索干涉仪 | 第11页 |
| 1.3.2 泰曼格林干涉仪 | 第11-12页 |
| 1.3.3 子孔径拼接干涉仪 | 第12-13页 |
| 1.4 国内外发展现状 | 第13-15页 |
| 1.5 本论文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 干涉仪系统传递函数的检测 | 第17-39页 |
| 2.1 波前功率谱密度(PSD) | 第17-22页 |
| 2.1.1 PSD的定义 | 第17-18页 |
| 2.1.2 PSD的有效频率宽度 | 第18-20页 |
| 2.1.3 窗函数修正系数的推导 | 第20-22页 |
| 2.2 干涉仪系统传递函数的定义 | 第22-23页 |
| 2.3 测量干涉仪系统传递函数常用方法 | 第23-26页 |
| 2.3.1 标准台阶相位比较法 | 第23-24页 |
| 2.3.2 正弦相位光栅法 | 第24-25页 |
| 2.3.3 台阶阵列测试板法 | 第25-26页 |
| 2.4 标定干涉仪系统传递函数的实验 | 第26-35页 |
| 2.4.1 加工高精度台阶板 | 第26-28页 |
| 2.4.2 测量条件 | 第28-29页 |
| 2.4.3 消倾斜方法 | 第29-30页 |
| 2.4.4 ITF计算程序 | 第30-32页 |
| 2.4.5 测量结果 | 第32-35页 |
| 2.5 误差分析 | 第35-38页 |
| 2.5.1 不同干涉腔距离对结果的影响 | 第35页 |
| 2.5.2 调焦对结果的影响 | 第35-37页 |
| 2.5.3 MASK的选取对结果的影响 | 第37-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 两种测量干涉仪系统传递函数的新方法 | 第39-54页 |
| 3.1 镀膜台阶板法 | 第39-47页 |
| 3.1.1 撕胶带镀膜 | 第40-41页 |
| 3.1.2 撕胶带镀膜台阶板与蚀刻台阶板测得结果对比 | 第41-42页 |
| 3.1.3 轮廓仪标定 | 第42-44页 |
| 3.1.4 夹具镀膜 | 第44-47页 |
| 3.2 条纹法 | 第47-53页 |
| 3.2.1 条纹法原理 | 第47-50页 |
| 3.2.2 条纹法与蚀刻台阶板测得结果对比 | 第50-52页 |
| 3.2.3 误差分析 | 第52-53页 |
| 3.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 大口径干涉仪系统传递函数的测量 | 第54-58页 |
| 4.1 等晕区法 | 第54-57页 |
| 4.2 条纹法 | 第57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结和展望 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 | 第66页 |