| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 课题来源及课题的背景意义 | 第14-16页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第14页 |
| 1.1.2 课题的背景及研究意义 | 第14-16页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第16-23页 |
| 1.2.1 微结构表面金刚石加工技术研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.2 导光板微结构及新型导光板成型技术 | 第18-21页 |
| 1.2.3 开放式数控系统的研究现状 | 第21-23页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第二章 微结构密集阵列加工机床数控系统的硬件设计 | 第26-35页 |
| 2.1 微结构密集阵列加工机床的总体结构及技术要求 | 第26-27页 |
| 2.2 数控系统的硬件结构 | 第27-28页 |
| 2.3 微结构密集阵列数控系统的硬件组成 | 第28-30页 |
| 2.3.1 IMAC400运动控制器及工控机 | 第28-29页 |
| 2.3.2 直线电机及伺服驱动器 | 第29页 |
| 2.3.3 光栅尺 | 第29页 |
| 2.3.4 压电陶瓷及其驱动电源 | 第29-30页 |
| 2.3.5 工业相机及光源的选择 | 第30页 |
| 2.4 刀架装置及驱动原理 | 第30-31页 |
| 2.5 数控系统电控系统的设计与搭建 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 微结构密集阵列加工机床数控系统的软件开发 | 第35-46页 |
| 3.1 数控系统的软件结构 | 第35-36页 |
| 3.2 数控系统软件关键问题的研究 | 第36-42页 |
| 3.2.1 IPC与IMAC400通讯的建立 | 第36页 |
| 3.2.2 超大容量代码加载 | 第36-38页 |
| 3.2.3 回零策略 | 第38-40页 |
| 3.2.4 加工代码同步高亮显示 | 第40-41页 |
| 3.2.5 G代码的解释程序 | 第41-42页 |
| 3.3 人机交互界面的设计 | 第42-43页 |
| 3.4 软件功能模块的实现 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 微点阵加工在位检测关键技术研究 | 第46-61页 |
| 4.1 在位检测系统实现具体流程 | 第46-49页 |
| 4.2 亚像素边缘检测算法 | 第49-55页 |
| 4.2.1 边缘的类型分析 | 第49-51页 |
| 4.2.2 梯度方向的确定 | 第51-52页 |
| 4.2.3 三次样条插值 | 第52-54页 |
| 4.2.4 亚像素坐标的计算 | 第54-55页 |
| 4.3 最小二乘法圆拟合算法研究 | 第55-57页 |
| 4.4 检测系统标定 | 第57-58页 |
| 4.5 在位检测实验及分析 | 第58-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 微结构密集阵列加工机床调试及加工实验 | 第61-81页 |
| 5.1 加工机床的参数调节与优化 | 第61-68页 |
| 5.1.1 Compax3驱动器的参数的配置及优化调节 | 第61-63页 |
| 5.1.2 IMAC400的PID参数的调节 | 第63-68页 |
| 5.2 加工机床定位精度检测及误差补偿 | 第68-73页 |
| 5.2.1 激光干涉仪测量定位精度原理 | 第68-69页 |
| 5.2.2 IMAC400误差补偿原理 | 第69-71页 |
| 5.2.3 定位精度检测及误差补偿 | 第71-73页 |
| 5.3 微结构密集阵列加工实验 | 第73-80页 |
| 5.3.1 加工工艺分析及加工速度测试 | 第73-75页 |
| 5.3.2 加工实验及检测 | 第75-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 总结与展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |